शीर्षक: चिप उत्पादनात FOUP म्हणजे काय?​​

अनुक्रमणिका

१. FOUP चे पुनरावलोकन आणि मुख्य कार्ये

२. FOUP ची रचना आणि डिझाइन वैशिष्ट्ये

३. FOUP चे वर्गीकरण आणि अनुप्रयोग मार्गदर्शक तत्त्वे

४. सेमीकंडक्टर उत्पादनात FOUP चे ऑपरेशन्स आणि महत्त्व

५. तांत्रिक आव्हाने आणि भविष्यातील विकास ट्रेंड

६.XKH चे कस्टमाइज्ड सोल्युशन्स आणि सर्व्हिस सपोर्ट

सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेत, फ्रंट ओपनिंग युनिफाइड पॉड (FOUP) हा वेफर्सचे संरक्षण, वाहतूक आणि साठवणूक करण्यासाठी वापरला जाणारा एक महत्त्वाचा कंटेनर आहे. त्याच्या आतील भागात ३०० मिमी वेफर्सचे २५ तुकडे सामावून घेता येतात आणि त्याच्या मुख्य घटकांमध्ये फ्रंट-ओपनिंग कंटेनर आणि उघडण्यासाठी आणि बंद करण्यासाठी एक समर्पित दरवाजा फ्रेम समाविष्ट आहे. FOUP हा १२ इंच वेफर्स फॅब्समध्ये स्वयंचलित वाहतूक प्रणालीमध्ये एक मुख्य वाहक आहे. हे सामान्यतः बंद स्थितीत वाहून नेले जाते आणि उपकरण लोड पोर्टवर ढकलल्यावरच उघडते, ज्यामुळे वेफर्स उपकरणाच्या लोडिंग/अनलोडिंग पोर्टमध्ये हस्तांतरित करता येतात.

FOUP ची रचना सूक्ष्म-पर्यावरण आवश्यकतांनुसार अनुकूलित केली आहे. यात वेफर घालण्यासाठी मागील बाजूस स्लॉट्स आहेत आणि झाकण विशेषतः ओपनरच्या क्लॅम्पशी जुळण्यासाठी डिझाइन केलेले आहे. वेफर-हँडलिंग रोबोट क्लास 1 स्वच्छ हवेच्या वातावरणात काम करतात, जे सुनिश्चित करतात की वेफर्स ट्रान्समिशन दरम्यान दूषित होणार नाहीत. शिवाय, FOUP स्वयंचलित मटेरियल हँडलिंग सिस्टम (AMHS) द्वारे प्रक्रिया साधनांमध्ये हलवले जाते. आधुनिक वेफर फॅब्स बहुतेकदा वाहतुकीसाठी ओव्हरहेड रेल सिस्टम वापरतात, तर काही जुन्या फॅब्स जमिनीवर आधारित स्वयंचलित मार्गदर्शित वाहने (AGVs) वापरू शकतात.

FOUP केवळ स्वयंचलित वेफर ट्रान्सफर सक्षम करत नाही तर स्टोरेज फंक्शन देखील करते. असंख्य उत्पादन चरणांमुळे, वेफर्सना संपूर्ण प्रक्रिया पूर्ण करण्यासाठी महिने लागू शकतात. उच्च मासिक उत्पादन खंडांसह, याचा अर्थ असा की फॅबमधील हजारो वेफर्स कोणत्याही वेळी सतत संक्रमण किंवा तात्पुरत्या स्टोरेजमध्ये असतात. स्टोरेज दरम्यान, FOUPs वेळोवेळी नायट्रोजनने शुद्ध केले जातात जेणेकरून दूषित पदार्थ वेफर्सशी संपर्क साधू नयेत, ज्यामुळे स्वच्छ आणि विश्वासार्ह उत्पादन प्रक्रिया सुनिश्चित होते.

१. FOUP ची कार्ये आणि महत्त्व

FOUP चे मुख्य कार्य म्हणजे वेफर्सना बाह्य धक्क्यापासून आणि दूषिततेपासून संरक्षण करणे, विशेषतः हस्तांतरणादरम्यान उत्पन्नावर होणारे परिणाम टाळणे. ते गॅस शुद्धीकरण आणि स्थानिक वातावरण नियंत्रण (LAC) सारख्या पद्धतींद्वारे ओलावा प्रभावीपणे प्रतिबंधित करते, पुढील उत्पादन चरणाची वाट पाहत असताना वेफर्स सुरक्षित स्थितीत राहतील याची खात्री करते. त्याची सीलबंद आणि नियंत्रित प्रणाली केवळ आवश्यक संयुगे आणि घटकांना आत प्रवेश करण्यास परवानगी देते, ज्यामुळे वेफर्सवरील VOCs, ऑक्सिजन आणि आर्द्रतेचे प्रतिकूल परिणाम लक्षणीयरीत्या कमी होतात.

२५ वेफर्सने पूर्णपणे भरलेले FOUP ९ किलोग्रॅमपर्यंत वजन करू शकते, त्यामुळे त्याची वाहतूक ऑटोमेटेड मटेरियल हँडलिंग सिस्टम (AMHS) वर अवलंबून असणे आवश्यक आहे. हे सुलभ करण्यासाठी, FOUP कपलिंग प्लेट्स, पिन आणि होलच्या विविध संयोजनांसह डिझाइन केलेले आहे आणि सहज ओळख आणि वर्गीकरणासाठी RFID इलेक्ट्रॉनिक टॅगसह सुसज्ज आहे. या स्वयंचलित हाताळणीसाठी जवळजवळ कोणत्याही मॅन्युअल ऑपरेशनची आवश्यकता नाही, ज्यामुळे त्रुटी दर मोठ्या प्रमाणात कमी होतात आणि उत्पादन प्रक्रियेची सुरक्षितता आणि अचूकता वाढते.

२. FOUP ची रचना आणि वर्गीकरण

FOUP चे सामान्य परिमाण अंदाजे ४२० मिमी रुंदी, ३३५ मिमी खोली आणि ३३५ मिमी उंची असते. त्याच्या मुख्य संरचनात्मक घटकांमध्ये हे समाविष्ट आहे: ओव्हरहेड होइस्ट ट्रान्सपोर्टसाठी वरचा OHT (मशरूम हेड); उपकरणांच्या वेफर अॅक्सेससाठी समोरचा दरवाजा; बाजूचे हँडल, बहुतेकदा वेगवेगळ्या दूषित पातळीसह प्रक्रिया क्षेत्रे ओळखण्यासाठी रंगीत कोड केलेले; संदेश कार्ड ठेवण्यासाठी कार्ड क्षेत्र; आणि तळाशी RFID टॅग जो FOUP साठी अद्वितीय ओळखकर्ता म्हणून काम करतो, ज्यामुळे साधने आणि ओव्हरहेड होइस्ट ते ओळखू शकतात. बेसमध्ये टूल्सशी जुळण्यासाठी आणि प्रक्रिया क्षेत्रे ओळखण्यासाठी चार ओळख आणि पोझिशनिंग होल देखील आहेत.

वापराच्या आधारावर, FOUPs तीन प्रकारांमध्ये वर्गीकृत केले जातात: PRD (उत्पादनासाठी), ENG (अभियांत्रिकी वेफर्ससाठी), आणि MON (मॉनिटर वेफर्ससाठी). PRD FOUPs उत्पादन निर्मितीसाठी वापरले जाऊ शकतात, ENG प्रकार R&D किंवा प्रयोगांसाठी योग्य आहेत आणि MON प्रकार CMP आणि DIFF सारख्या चरणांसाठी प्रक्रिया देखरेखीसाठी समर्पित आहेत. हे लक्षात ठेवणे महत्त्वाचे आहे की PRD FOUPs ENG आणि MON दोन्ही उद्देशांसाठी वापरले जाऊ शकतात आणि ENG प्रकार MON साठी वापरले जाऊ शकतात, परंतु उलट ऑपरेशन गुणवत्तेचे धोके निर्माण करते.

दूषिततेच्या पातळीनुसार वर्गीकृत केलेले, FOUPs FE FOUP (फ्रंट-एंड प्रक्रिया, धातू-मुक्त), BE FOUP (बॅक-एंड प्रक्रिया, धातू समाविष्ट करते), आणि NI FOUP, CU FOUP आणि CO FOUP सारख्या विशिष्ट धातू प्रक्रियांसाठी विशेषीकृत केलेले मध्ये विभागले जाऊ शकतात. वेगवेगळ्या प्रक्रियांसाठी FOUPs सामान्यतः बाजूच्या हँडल किंवा दरवाजाच्या पॅनेलच्या रंगाने ओळखले जातात. फ्रंट-एंड प्रक्रियांमधील FOUPs बॅक-एंड प्रक्रियांमध्ये वापरले जाऊ शकतात, परंतु बॅक-एंड FOUPs कधीही फ्रंट-एंड प्रक्रियांमध्ये वापरू नयेत, कारण यामुळे दूषित होण्याचा धोका निर्माण होऊ शकतो.

सेमीकंडक्टर उत्पादनात एक प्रमुख वाहक म्हणून, FOUP, उच्च ऑटोमेशन आणि कठोर दूषित नियंत्रणाद्वारे, उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सची सुरक्षितता आणि स्वच्छता सुनिश्चित करते, ज्यामुळे ते आधुनिक वेफर्समध्ये एक अपरिहार्य पायाभूत सुविधा बनते.

निष्कर्ष

XKH ग्राहकांना अत्यंत सानुकूलित फ्रंट-ओपनिंग युनिफाइड पॉड (FOUP) सोल्यूशन्स प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे, तुमच्या विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकता आणि उपकरण इंटरफेस स्पेसिफिकेशनचे काटेकोरपणे पालन करते. प्रगत मटेरियल तंत्रज्ञान आणि अचूक उत्पादन प्रक्रियांचा वापर करून, आम्ही खात्री करतो की प्रत्येक FOUP उत्पादन अपवादात्मक हवाबंदपणा, स्वच्छता आणि यांत्रिक स्थिरता प्रदान करते. आमच्या तांत्रिक टीमकडे सखोल उद्योग कौशल्य आहे, जे निवड सल्लामसलत आणि स्ट्रक्चरल ऑप्टिमायझेशनपासून ते स्वच्छता आणि देखभालीपर्यंत व्यापक जीवनचक्र समर्थन प्रदान करते - FOUP आणि तुमच्या ऑटोमेटेड मटेरियल हँडलिंग सिस्टम (AMHS) तसेच प्रक्रिया उपकरणांमध्ये अखंड एकात्मता आणि कार्यक्षम सहकार्य सुनिश्चित करते. आम्ही आमचे मुख्य उद्दिष्ट म्हणून वेफर्सची सुरक्षितता आणि उत्पादन उत्पन्न वाढवणे याला सातत्याने प्राधान्य देतो. नाविन्यपूर्ण उत्पादने आणि सर्वसमावेशक तांत्रिक सेवांद्वारे, आम्ही तुमच्या सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी एक मजबूत हमी प्रदान करतो, शेवटी उत्पादन कार्यक्षमता आणि उत्पादन उत्पन्न वाढवतो.