SiC नीलमणी Si GAAs वेफरसाठी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक चक

प्रश्न १: क्वार्ट्ज किंवा मेटल चकच्या तुलनेत SiC सिरेमिक चक कसे असतात?
A1: SiC चक हलके, कडक असतात आणि सिलिकॉन वेफर्सच्या जवळ CTE असतात, ज्यामुळे थर्मल विकृती कमी होते. ते उत्कृष्ट पोशाख प्रतिरोध आणि दीर्घ आयुष्य देखील देतात.

प्रश्न २: कोणती सपाटता मिळवता येते?
A2: आत नियंत्रित०.३–०.५ मायक्रॉन, सेमीकंडक्टर उत्पादनाच्या कठोर मागण्या पूर्ण करणे.

Q3: पृष्ठभागावर वेफर्स ओरखडे येतील का?
A3: नाही—आरशाने पॉलिश केलेलेरा ०.०२ मायक्रॉन, स्क्रॅच-फ्री हाताळणी सुनिश्चित करणे आणि कण निर्मिती कमी करणे.

प्रश्न ४: कोणते वेफर आकार समर्थित आहेत?
A4: मानक आकार६'', ८'' आणि १२'', कस्टमायझेशन उपलब्ध आहे.

प्रश्न ५: थर्मल रेझिस्टन्स कसा आहे?
A5: SiC सिरेमिक्स थर्मल सायकलिंग अंतर्गत कमीत कमी विकृतीसह उत्कृष्ट उच्च-तापमान कामगिरी प्रदान करतात.