सीव्हीडी प्रक्रियेसाठी ४ इंच ६ इंच ८ इंच एसआयसी क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस

१. प्रगत तापमान नियंत्रण प्रणाली
या भट्टीत एक मल्टी-झोन रेझिस्टिव्ह हीटिंग सिस्टम आहे जी संपूर्ण ग्रोथ चेंबरमध्ये ±1°C एकसमानतेसह २३००°C पर्यंत तापमान राखण्यास सक्षम आहे. हे अचूक थर्मल व्यवस्थापन याद्वारे साध्य केले जाते:
१२ स्वतंत्रपणे नियंत्रित हीटिंग झोन.
अनावश्यक थर्माकोपल मॉनिटरिंग (टाइप सी डब्ल्यू-रे).
रिअल-टाइम थर्मल प्रोफाइल समायोजन अल्गोरिदम.
थर्मल ग्रेडियंट नियंत्रणासाठी वॉटर-कूल्ड चेंबरच्या भिंती.

२. गॅस वितरण आणि मिश्रण तंत्रज्ञान
आमची मालकीची गॅस वितरण प्रणाली इष्टतम पूर्वसूचक मिश्रण आणि एकसमान वितरण सुनिश्चित करते:
±०.०५sccm अचूकतेसह मास फ्लो कंट्रोलर्स.
मल्टी-पॉइंट गॅस इंजेक्शन मॅनिफोल्ड.
इन-सिटू गॅस कंपोझिशन मॉनिटरिंग (FTIR स्पेक्ट्रोस्कोपी).
वाढीच्या चक्रादरम्यान स्वयंचलित प्रवाह भरपाई.

३. क्रिस्टल गुणवत्ता वाढ
क्रिस्टलची गुणवत्ता सुधारण्यासाठी या प्रणालीमध्ये अनेक नवोपक्रमांचा समावेश आहे:
फिरणारा सब्सट्रेट होल्डर (०-१००rpm प्रोग्राम करण्यायोग्य).
प्रगत सीमा थर नियंत्रण तंत्रज्ञान.
इन-सिटू डिफेक्ट मॉनिटरिंग सिस्टम (यूव्ही लेसर स्कॅटरिंग).
वाढीदरम्यान स्वयंचलित ताण भरपाई.

४. प्रक्रिया ऑटोमेशन आणि नियंत्रण
पूर्णपणे स्वयंचलित रेसिपी अंमलबजावणी.
रिअल-टाइम ग्रोथ पॅरामीटर ऑप्टिमायझेशन एआय.
रिमोट मॉनिटरिंग आणि डायग्नोस्टिक्स.
१०००+ पॅरामीटर डेटा लॉगिंग (५ वर्षांसाठी संग्रहित).

५. सुरक्षितता आणि विश्वासार्हता वैशिष्ट्ये
तिहेरी-अनावश्यक अति-तापमान संरक्षण.
स्वयंचलित आपत्कालीन शुद्धीकरण प्रणाली.
भूकंप-रेटेड स्ट्रक्चरल डिझाइन.
९८.५% अपटाइम हमी.

६. स्केलेबल आर्किटेक्चर
मॉड्यूलर डिझाइनमुळे क्षमता वाढवता येते.
१०० मिमी ते २०० मिमी वेफर आकारांशी सुसंगत.
उभ्या आणि आडव्या दोन्ही कॉन्फिगरेशनना समर्थन देते.
देखभालीसाठी घटक जलद बदलणे.

७. ऊर्जा कार्यक्षमता
तुलनात्मक प्रणालींपेक्षा ३०% कमी वीज वापर.
उष्णता पुनर्प्राप्ती प्रणाली ६०% कचरा उष्णता कॅप्चर करते.
ऑप्टिमाइझ केलेले गॅस वापर अल्गोरिदम.
LEED-अनुपालन सुविधा आवश्यकता.

८. साहित्याची अष्टपैलुत्व
सर्व प्रमुख SiC पॉलीटाइप्स (4H, 6H, 3C) वाढवते.
वाहक आणि अर्ध-इन्सुलेट दोन्ही प्रकारांना समर्थन देते.
विविध डोपिंग योजना (एन-प्रकार, पी-प्रकार) सामावून घेते.
पर्यायी पूर्वसूचकांशी सुसंगत (उदा., TMS, TES).

9. व्हॅक्यूम सिस्टम कामगिरी
बेस प्रेशर: <1×10⁻⁶ टॉर
गळतीचा दर: <1×10⁻⁹ टॉर·लि/सेकंद
पंपिंग गती: ५००० लि/सेकंद (SiH₄ साठी)

वाढीच्या चक्रादरम्यान स्वयंचलित दाब नियंत्रण
हे सर्वसमावेशक तांत्रिक तपशील आमच्या प्रणालीची उद्योग-अग्रणी सुसंगतता आणि उत्पन्नासह संशोधन-दर्जाचे आणि उत्पादन-गुणवत्तेचे SiC क्रिस्टल्स तयार करण्याची क्षमता दर्शविते. अचूक नियंत्रण, प्रगत देखरेख आणि मजबूत अभियांत्रिकीचे संयोजन या CVD प्रणालीला पॉवर इलेक्ट्रॉनिक्स, RF उपकरणे आणि इतर प्रगत सेमीकंडक्टर अनुप्रयोगांमध्ये संशोधन आणि विकास आणि व्हॉल्यूम उत्पादन अनुप्रयोगांसाठी इष्टतम पर्याय बनवते.