एमओएस किंवा एसबीडी उत्पादन संशोधन आणि डमी ग्रेडसाठी 6 इंच 150 मिमी सिलिकॉन कार्बाइड SiC वेफर्स 4H-N प्रकार
अर्ज फील्ड
6-इंच सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेट अनेक उद्योगांमध्ये महत्त्वपूर्ण भूमिका बजावते. प्रथम, हे पॉवर ट्रान्झिस्टर, इंटिग्रेटेड सर्किट्स आणि पॉवर मॉड्यूल्स सारख्या उच्च-शक्तीच्या इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या निर्मितीसाठी सेमीकंडक्टर उद्योगात मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाते. त्याची उच्च औष्णिक चालकता आणि उच्च-तापमान प्रतिरोध अधिक चांगले उष्णता नष्ट करण्यास सक्षम करते, परिणामी कार्यक्षमता आणि विश्वासार्हता सुधारते. दुसरे म्हणजे, सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्स नवीन साहित्य आणि उपकरणांच्या विकासासाठी संशोधन क्षेत्रात आवश्यक आहेत. याव्यतिरिक्त, सिलिकॉन कार्बाइड वेफरला ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्सच्या क्षेत्रात LEDs आणि लेसर डायोड्सच्या निर्मितीसह विस्तृत अनुप्रयोग आढळतात.
उत्पादन तपशील
6-इंच सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेटचा व्यास 6 इंच (अंदाजे 152.4 मिमी) आहे. पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा Ra <0.5 nm आहे आणि जाडी 600 ± 25 μm आहे. ग्राहकांच्या गरजेनुसार सब्सट्रेट एन-टाइप किंवा पी-टाइप चालकता सह सानुकूलित केले जाऊ शकते. शिवाय, ते अपवादात्मक यांत्रिक स्थिरता प्रदर्शित करते, दाब आणि कंपन सहन करण्यास सक्षम आहे.
| व्यासाचा | 150±2.0mm (6 इंच) | ||||
| जाडी | 350 μm±25μm | ||||
| अभिमुखता | अक्षावर ： <0001>±0.5° | बंद अक्ष: 4.0° कडे 1120±0.5° | |||
| पॉलीटाइप | 4H | ||||
| प्रतिरोधकता (Ω·cm) | 4H-N | 0.015~0.028 Ω·cm/0.015~0.025ohm·cm | |||
| 4/6H-SI | >1E5 | ||||
| प्राथमिक फ्लॅट अभिमुखता | {10-10}±5.0° | ||||
| प्राथमिक सपाट लांबी (मिमी) | 47.5 मिमी±2.5 मिमी | ||||
| काठ | चांफर | ||||
| TTV/बो/वार्प (उम) | ≤15 /≤40 /≤60 | ||||
| एएफएम फ्रंट (सि-फेस) | पोलिश Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.5 nm | |||||
| LTV | ≤3μm(10mm*10mm) | ≤5μm(10mm*10mm) | ≤10μm(10mm*10mm) | ||
| TTV | ≤5μm | ≤10μm | ≤15μm | ||
| संत्र्याची साल/खड्डे/खड्डे/दूषितता/डाग/दाग | काहीही नाही | काहीही नाही | काहीही नाही | ||
| इंडेंट | काहीही नाही | काहीही नाही | काहीही नाही | ||
6-इंच सिलिकॉन कार्बाइड सिंगल क्रिस्टल सब्सट्रेट हे सेमीकंडक्टर, संशोधन आणि ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगांमध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरले जाणारे उच्च-कार्यक्षमतेचे साहित्य आहे. हे उत्कृष्ट थर्मल चालकता, यांत्रिक स्थिरता आणि उच्च-तापमान प्रतिरोध देते, ज्यामुळे उच्च-शक्तीच्या इलेक्ट्रॉनिक उपकरणांच्या निर्मितीसाठी आणि नवीन सामग्री संशोधनासाठी योग्य बनते. ग्राहकांच्या विविध मागण्या पूर्ण करण्यासाठी आम्ही विविध वैशिष्ट्ये आणि सानुकूलित पर्याय प्रदान करतो.सिलिकॉन कार्बाइड वेफर्सच्या अधिक माहितीसाठी आमच्याशी संपर्क साधा!
तपशीलवार आकृती
