8 इंच 200 मिमी सिलिकॉन कार्बाइड SiC वेफर्स 4H-N प्रकार उत्पादन ग्रेड 500um जाडी

आकार: 8 इंच;

व्यास: 200mm±0.2;

जाडी: 500um±25;

पृष्ठभाग अभिमुखता: 4 दिशेने [11-20]±0.5°;

खाच अभिमुखता:[1-100]±1°;

खाच खोली: 1±0.25 मिमी;

मायक्रोपाईप: <1 सेमी 2;

हेक्स प्लेट्स: परवानगी नाही;

प्रतिरोधकता: 0.015~0.028Ω;

EPD:<8000cm2;

TED:<6000cm2

BPD:<2000cm2

TSD:<1000cm2

SF: क्षेत्र<1%

TTV≤15um；

Warp≤40um;

धनुष्य≤25um;

पॉली क्षेत्रे: ≤5%;

स्क्रॅच: <5 आणि संचयी लांबी< 1 वेफर व्यास;

चिप्स/इंडेंट्स: कोणतीही परवानगी नाही D>0.5 मिमी रुंदी आणि खोली;

क्रॅक: काहीही नाही;

डाग: काहीही नाही

वेफर धार: Chamfer;

सरफेस फिनिश: डबल साइड पॉलिश, सी फेस सीएमपी;

पॅकिंग: मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर;

200mm 4H-SiC क्रिस्टल्स तयार करण्यात सध्याच्या अडचणी

1) उच्च-गुणवत्तेचे 200mm 4H-SiC बियाणे क्रिस्टल्स तयार करणे;

2) मोठ्या आकाराचे तापमान फील्ड नॉन-एकरूपता आणि न्यूक्लिएशन प्रक्रिया नियंत्रण;

3) मोठ्या आकाराच्या क्रिस्टल ग्रोथ सिस्टममध्ये वायू घटकांची वाहतूक कार्यक्षमता आणि उत्क्रांती;

4) क्रिस्टल क्रॅकिंग आणि दोष प्रसार मोठ्या आकाराच्या थर्मल ताण वाढ.

या आव्हानांवर मात करण्यासाठी आणि उच्च दर्जाचे 200mm SiC वेफर्स सोल्यूशन्स प्रस्तावित आहेत:

200 मिमी बियाणे क्रिस्टल तयार करण्याच्या दृष्टीने, योग्य तापमान फील्डफ्लो फील्ड आणि विस्तारित असेंब्लीचा अभ्यास केला गेला आणि क्रिस्टल गुणवत्ता आणि विस्तारित आकार विचारात घेण्यासाठी डिझाइन केले गेले; 150mm SiC se:d स्फटिकापासून सुरुवात करून, SiC स्फटिकाचा 200mm पर्यंत पोहोचेपर्यंत हळूहळू विस्तार करण्यासाठी सीड क्रिस्टल पुनरावृत्ती करा; एकाधिक क्रिस्टल वाढ आणि प्रक्रियेद्वारे, क्रिस्टल विस्तारित क्षेत्रामध्ये क्रिस्टल गुणवत्ता हळूहळू ऑप्टिमाइझ करा आणि 200 मिमी सीड क्रिस्टल्सची गुणवत्ता सुधारा.

200mm प्रवाहकीय क्रिस्टल आणि सब्सट्रेट तयार करण्याच्या दृष्टीने, संशोधनाने मोठ्या आकाराच्या क्रिस्टल ग्रोथ, 200mm प्रवाहकीय SiC क्रिस्टल ग्रोथ, आणि डोपिंग एकरूपता नियंत्रित करण्यासाठी तापमान फील्ड आणि प्रवाह फील्ड डिझाइन ऑप्टिमाइझ केले आहे. क्रिस्टलच्या खडबडीत प्रक्रिया आणि आकार दिल्यानंतर, मानक व्यासासह 8-इंच विद्युत प्रवाहकीय 4H-SiC इंगॉट प्राप्त झाला. कटिंग, ग्राइंडिंग, पॉलिशिंग, प्रक्रिया केल्यानंतर 525um किंवा त्यापेक्षा जास्त जाडीचे SiC 200mm वेफर्स मिळविण्यासाठी