८ इंच SiC उत्पादन ग्रेड वेफर ४H-N SiC सब्सट्रेट
खालील तक्ता आमच्या ८ इंचाच्या SiC वेफर्सची वैशिष्ट्ये दर्शवितो:
| ८ इंच एन-टाइप SiC DSP स्पेक्स | |||||
| क्रमांक | आयटम | युनिट | उत्पादन | संशोधन | डमी |
| १: पॅरामीटर्स | |||||
| १.१ | पॉलीटाइप | -- | 4H | 4H | 4H |
| १.२ | पृष्ठभागाची दिशा | ° | <११-२०>४±०.५ | <११-२०>४±०.५ | <११-२०>४±०.५ |
| २: इलेक्ट्रिकल पॅरामीटर | |||||
| २.१ | डोपंट | -- | एन-प्रकार नायट्रोजन | एन-प्रकार नायट्रोजन | एन-प्रकार नायट्रोजन |
| २.२ | प्रतिरोधकता | ओम ·सेमी | ०.०१५~०.०२५ | ०.०१~०.०३ | NA |
| ३: यांत्रिक पॅरामीटर | |||||
| ३.१ | व्यास | mm | २००±०.२ | २००±०.२ | २००±०.२ |
| ३.२ | जाडी | मायक्रॉन | ५००±२५ | ५००±२५ | ५००±२५ |
| ३.३ | नॉच ओरिएंटेशन | ° | [१- १००]±५ | [१- १००]±५ | [१- १००]±५ |
| ३.४ | खाच खोली | mm | १~१.५ | १~१.५ | १~१.५ |
| ३.५ | एलटीव्ही | मायक्रॉन | ≤५(१० मिमी*१० मिमी) | ≤५(१० मिमी*१० मिमी) | ≤१०(१० मिमी*१० मिमी) |
| ३.६ | टीटीव्ही | मायक्रॉन | ≤१० | ≤१० | ≤१५ |
| ३.७ | धनुष्य | मायक्रॉन | -२५~२५ | -४५~४५ | -६५~६५ |
| ३.८ | वार्प | मायक्रॉन | ≤३० | ≤५० | ≤७० |
| ३.९ | एएफएम | nm | रॅ≤०.२ | रॅ≤०.२ | रॅ≤०.२ |
| ४:रचना | |||||
| ४.१ | मायक्रोपाइप घनता | ईए/सेमी२ | ≤२ | ≤१० | ≤५० |
| ४.२ | धातूचे प्रमाण | अणू/सेमी२ | ≤१E११ | ≤१E११ | NA |
| ४.३ | टीएसडी | ईए/सेमी२ | ≤५०० | ≤१००० | NA |
| ४.४ | बीपीडी | ईए/सेमी२ | ≤२००० | ≤५००० | NA |
| ४.५ | टेड | ईए/सेमी२ | ≤७००० | ≤१०००० | NA |
| ५.समोरची गुणवत्ता | |||||
| ५.१ | समोर | -- | Si | Si | Si |
| ५.२ | पृष्ठभाग पूर्ण करणे | -- | सी-फेस सीएमपी | सी-फेस सीएमपी | सी-फेस सीएमपी |
| ५.३ | कण | ईए/वेफर | ≤१०० (आकार≥०.३μm) | NA | NA |
| ५.४ | ओरखडा | ईए/वेफर | ≤5, एकूण लांबी≤200 मिमी | NA | NA |
| ५.५ | काठ चिप्स/इंडेंट्स/क्रॅक/डाग/दूषितता | -- | काहीही नाही | काहीही नाही | NA |
| ५.६ | पॉलीटाइप क्षेत्रे | -- | काहीही नाही | क्षेत्रफळ ≤१०% | क्षेत्रफळ ≤३०% |
| ५.७ | समोरील बाजूचे चिन्हांकन | -- | काहीही नाही | काहीही नाही | काहीही नाही |
| ६:मागील गुणवत्ता | |||||
| ६.१ | बॅक फिनिश | -- | सी-फेस एमपी | सी-फेस एमपी | सी-फेस एमपी |
| ६.२ | ओरखडा | mm | NA | NA | NA |
| ६.३ | पाठीच्या कडा दोष चिप्स/इंडेंट्स | -- | काहीही नाही | काहीही नाही | NA |
| ६.४ | पाठीचा खडबडीतपणा | nm | रा≤5 | रा≤5 | रा≤5 |
| ६.५ | मागे मार्किंग | -- | खाच | खाच | खाच |
| ७:एज | |||||
| ७.१ | धार | -- | चेंफर | चेंफर | चेंफर |
| ८:पॅकेज | |||||
| ८.१ | पॅकेजिंग | -- | व्हॅक्यूमसह एपि-रेडी पॅकेजिंग | व्हॅक्यूमसह एपि-रेडी पॅकेजिंग | व्हॅक्यूमसह एपि-रेडी पॅकेजिंग |
| ८.२ | पॅकेजिंग | -- | मल्टी-वेफर कॅसेट पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट पॅकेजिंग |
तपशीलवार आकृती
तुमचा संदेश येथे लिहा आणि आम्हाला पाठवा.