8 इंच SiC प्रोडक्शन ग्रेड वेफर 4H-N SiC सब्सट्रेट
खालील सारणी आमच्या 8 इंच SiC वेफर्सची वैशिष्ट्ये दर्शवते:
| 8 इंच N-प्रकार SiC DSP चष्मा | |||||
| क्रमांक | आयटम | युनिट | उत्पादन | संशोधन | बनावट |
| 1:मापदंड | |||||
| १.१ | पॉलीटाइप | -- | 4H | 4H | 4H |
| १.२ | पृष्ठभाग अभिमुखता | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2:इलेक्ट्रिकल पॅरामीटर | |||||
| २.१ | डोपंट | -- | n-प्रकार नायट्रोजन | n-प्रकार नायट्रोजन | n-प्रकार नायट्रोजन |
| २.२ | प्रतिरोधकता | ओम · सेमी | ०.०१५~०.०२५ | ०.०१~०.०३ | NA |
| 3:मेकॅनिकल पॅरामीटर | |||||
| ३.१ | व्यास | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| ३.२ | जाडी | μm | ५००±२५ | ५००±२५ | ५००±२५ |
| ३.३ | खाच अभिमुखता | ° | [१- १००]±५ | [१- १००]±५ | [१- १००]±५ |
| ३.४ | खाच खोली | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| ३.५ | LTV | μm | ≤5(10mm*10mm) | ≤5(10mm*10mm) | ≤10(10mm*10mm) |
| ३.६ | TTV | μm | ≤१० | ≤१० | ≤१५ |
| ३.७ | धनुष्य | μm | -२५~२५ | -४५~४५ | -६५~६५ |
| ३.८ | ताना | μm | ≤३० | ≤50 | ≤७० |
| ३.९ | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4:रचना | |||||
| ४.१ | मायक्रोपाईप घनता | ea/cm2 | ≤2 | ≤१० | ≤50 |
| ४.२ | धातू सामग्री | अणू/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| ४.३ | TSD | ea/cm2 | ≤५०० | ≤1000 | NA |
| ४.४ | बीपीडी | ea/cm2 | ≤2000 | ≤५००० | NA |
| ४.५ | TED | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. समोरची गुणवत्ता | |||||
| ५.१ | समोर | -- | Si | Si | Si |
| ५.२ | पृष्ठभाग समाप्त | -- | सी-फेस सीएमपी | सी-फेस सीएमपी | सी-फेस सीएमपी |
| ५.३ | कण | ea/वेफर | ≤100(आकार≥0.3μm) | NA | NA |
| ५.४ | स्क्रॅच | ea/वेफर | ≤5, एकूण लांबी≤200mm | NA | NA |
| ५.५ | काठ चिप्स/इंडेंट्स/क्रॅक/डाग/दूषितता | -- | काहीही नाही | काहीही नाही | NA |
| ५.६ | पॉलीटाइप क्षेत्रे | -- | काहीही नाही | क्षेत्रफळ ≤10% | क्षेत्रफळ ≤30% |
| ५.७ | समोर चिन्हांकन | -- | काहीही नाही | काहीही नाही | काहीही नाही |
| 6:परत गुणवत्ता | |||||
| ६.१ | परत समाप्त | -- | सी-फेस खासदार | सी-फेस खासदार | सी-फेस खासदार |
| ६.२ | स्क्रॅच | mm | NA | NA | NA |
| ६.३ | परत दोष धार चिप्स/इंडेंट्स | -- | काहीही नाही | काहीही नाही | NA |
| ६.४ | मागे उग्रपणा | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| ६.५ | मागे मार्किंग | -- | खाच | खाच | खाच |
| 7: धार | |||||
| ७.१ | धार | -- | चांफर | चांफर | चांफर |
| 8:पॅकेज | |||||
| ८.१ | पॅकेजिंग | -- | व्हॅक्यूमसह एपि-तयार पॅकेजिंग | व्हॅक्यूमसह एपि-तयार पॅकेजिंग | व्हॅक्यूमसह एपि-तयार पॅकेजिंग |
| ८.२ | पॅकेजिंग | -- | मल्टी-वेफर कॅसेट पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट पॅकेजिंग |
तपशीलवार आकृती
तुमचा संदेश इथे लिहा आणि आम्हाला पाठवा
