पूर्णपणे स्वयंचलित वेफर रिंग-कटिंग उपकरणे कार्यरत आकार 8 इंच/12 इंच वेफर रिंग कटिंग

संक्षिप्त वर्णन:

XKH ने स्वतंत्रपणे पूर्णपणे स्वयंचलित वेफर एज ट्रिमिंग सिस्टम विकसित केली आहे, जी फ्रंट-एंड सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले प्रगत समाधान दर्शवते. या उपकरणात नाविन्यपूर्ण मल्टी-अॅक्सिस सिंक्रोनस कंट्रोल तंत्रज्ञान समाविष्ट आहे आणि त्यात उच्च-कठोरता स्पिंडल सिस्टम (जास्तीत जास्त रोटेशन स्पीड: 60,000 RPM) आहे, जे ±5μm पर्यंत कटिंग अचूकतेसह अचूक एज ट्रिमिंग प्रदान करते. ही सिस्टम विविध सेमीकंडक्टर सब्सट्रेट्ससह उत्कृष्ट सुसंगतता दर्शवते, ज्यामध्ये समाविष्ट आहे परंतु इतकेच मर्यादित नाही:
१.सिलिकॉन वेफर्स (Si): ८-१२ इंच वेफर्सच्या एज प्रोसेसिंगसाठी योग्य;
२. कंपाऊंड सेमीकंडक्टर: तिसऱ्या पिढीतील सेमीकंडक्टर मटेरियल जसे की GaAs आणि SiC;
३.विशेष सब्सट्रेट्स: पायझोइलेक्ट्रिक मटेरियल वेफर्स ज्यामध्ये LT/LN समाविष्ट आहे;

मॉड्यूलर डिझाइनमुळे डायमंड ब्लेड आणि लेसर कटिंग हेड्ससह अनेक उपभोग्य वस्तू जलद बदलण्यास मदत होते, ज्यामध्ये उद्योग मानकांपेक्षा जास्त सुसंगतता असते. विशेष प्रक्रिया आवश्यकतांसाठी, आम्ही व्यापक उपाय प्रदान करतो ज्यात समाविष्ट आहे:
· समर्पित कटिंग उपभोग्य वस्तूंचा पुरवठा
· कस्टम प्रक्रिया सेवा
· प्रक्रिया पॅरामीटर ऑप्टिमायझेशन उपाय

आम्हाला ईमेल पाठवा

वैशिष्ट्ये

तांत्रिक बाबी

पॅरामीटर	युनिट	तपशील
कमाल वर्कपीस आकार	mm	१२"
स्पिंडल	कॉन्फिगरेशन	सिंगल स्पिंडल
	गती	३,०००-६०,००० आरपीएम
	आउटपुट पॉवर	३०,००० मिनिटांवर १.८ किलोवॅट (२.४ पर्यायी)⁻¹
	कमाल ब्लेड डाय.	Ø५८ मिमी
एक्स-अ‍ॅक्सिस	कटिंग रेंज	३१० मिमी
Y-अक्ष	कटिंग रेंज	३१० मिमी
	पायरी वाढ	०.०००१ मिमी
	स्थिती अचूकता	≤0.003 मिमी/310 मिमी, ≤0.002 मिमी/5 मिमी (एकल त्रुटी)
झेड-अ‍ॅक्सिस	चळवळीचा ठराव	०.०००५ मिमी
झेड-अ‍ॅक्सिस	पुनरावृत्तीक्षमता	०.००१ मिमी
θ-अक्ष	कमाल रोटेशन	३८० अंश
स्पिंडल प्रकार		रिंग कटिंगसाठी कडक ब्लेडने सुसज्ज एकच स्पिंडल
रिंग-कटिंग अचूकता	मायक्रॉन	±५०
वेफर पोझिशनिंग अचूकता	मायक्रॉन	±५०
सिंगल-वेफर कार्यक्षमता	किमान/वेफर	8
मल्टी-वेफर कार्यक्षमता		एकाच वेळी ४ वेफर्सपर्यंत प्रक्रिया केली जाते
उपकरणांचे वजन	kg	≈३,२००
उपकरणांचे परिमाण (पाऊंड × ड × ह)	mm	२,७३० × १,५५० × २,०७०

ऑपरेटिंग तत्त्व

या मुख्य तंत्रज्ञानाद्वारे ही प्रणाली अपवादात्मक ट्रिमिंग कामगिरी साध्य करते:

१. बुद्धिमान गती नियंत्रण प्रणाली:
· उच्च-परिशुद्धता रेषीय मोटर ड्राइव्ह (पुनरावृत्ती स्थिती अचूकता: ±0.5μm)
· जटिल मार्ग नियोजनाला समर्थन देणारे सहा-अक्षांचे समकालिक नियंत्रण
· कटिंग स्थिरता सुनिश्चित करणारे रिअल-टाइम कंपन सप्रेशन अल्गोरिदम

२.प्रगत शोध प्रणाली:
· एकात्मिक 3D लेसर उंची सेन्सर (अचूकता: 0.1μm)
· उच्च-रिझोल्यूशन सीसीडी व्हिज्युअल पोझिशनिंग (५ मेगापिक्सेल)
· ऑनलाइन गुणवत्ता तपासणी मॉड्यूल

३. पूर्णपणे स्वयंचलित प्रक्रिया:
· स्वयंचलित लोडिंग/अनलोडिंग (FOUP मानक इंटरफेस सुसंगत)
· बुद्धिमान वर्गीकरण प्रणाली
· बंद लूप क्लिनिंग युनिट (स्वच्छता: वर्ग १०)

ठराविक अनुप्रयोग

हे उपकरण अर्धसंवाहक उत्पादन अनुप्रयोगांमध्ये महत्त्वपूर्ण मूल्य प्रदान करते:

अर्ज फील्ड	प्रक्रिया साहित्य	तांत्रिक फायदे
आयसी उत्पादन	८/१२" सिलिकॉन वेफर्स	लिथोग्राफी संरेखन वाढवते
पॉवर उपकरणे	SiC/GaN वेफर्स	कडा दोष प्रतिबंधित करते
एमईएमएस सेन्सर्स	एसओआय वेफर्स	डिव्हाइसची विश्वासार्हता सुनिश्चित करते
आरएफ उपकरणे	GaAs वेफर्स	उच्च-फ्रिक्वेन्सी कामगिरी सुधारते
प्रगत पॅकेजिंग	पुनर्रचित वेफर्स	पॅकेजिंग उत्पन्न वाढवते

वैशिष्ट्ये

१. उच्च प्रक्रिया कार्यक्षमतेसाठी चार-स्टेशन कॉन्फिगरेशन;
२. स्थिर TAIKO रिंग डीबॉन्डिंग आणि काढणे;
३. प्रमुख उपभोग्य वस्तूंसह उच्च सुसंगतता;
४. मल्टी-अ‍ॅक्सिस सिंक्रोनस ट्रिमिंग तंत्रज्ञान अचूक एज कटिंग सुनिश्चित करते;
५. पूर्णपणे स्वयंचलित प्रक्रिया प्रवाहामुळे कामगार खर्चात लक्षणीय घट होते;
६. कस्टमाइज्ड वर्कटेबल डिझाइनमुळे विशेष संरचनांची स्थिर प्रक्रिया शक्य होते;

कार्ये

१. रिंग-ड्रॉप डिटेक्शन सिस्टम;
२.स्वयंचलित वर्कटेबल साफसफाई;
३. बुद्धिमान यूव्ही डीबॉन्डिंग सिस्टम;
४.ऑपरेशन लॉग रेकॉर्डिंग;
५.फॅक्टरी ऑटोमेशन मॉड्यूल एकत्रीकरण;

सेवा वचनबद्धता

XKH तुमच्या उत्पादन प्रवासात उपकरणांची कार्यक्षमता आणि कार्यक्षमता वाढवण्यासाठी डिझाइन केलेल्या व्यापक, संपूर्ण जीवनचक्र समर्थन सेवा प्रदान करते.
१. कस्टमायझेशन सेवा
· अनुकूलित उपकरणांचे कॉन्फिगरेशन: आमची अभियांत्रिकी टीम विशिष्ट सामग्री गुणधर्म (Si/SiC/GaAs) आणि प्रक्रिया आवश्यकतांवर आधारित सिस्टम पॅरामीटर्स (कटिंग स्पीड, ब्लेड निवड इ.) ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी क्लायंटशी जवळून सहकार्य करते.
· प्रक्रिया विकास समर्थन: आम्ही काठाच्या खडबडीतपणाचे मापन आणि दोष मॅपिंगसह तपशीलवार विश्लेषण अहवालांसह नमुना प्रक्रिया ऑफर करतो.
· उपभोग्य वस्तूंचा सह-विकास: नवीन साहित्यांसाठी (उदा. Ga₂O₃), आम्ही अनुप्रयोग-विशिष्ट ब्लेड/लेसर ऑप्टिक्स विकसित करण्यासाठी आघाडीच्या उपभोग्य उत्पादकांसोबत भागीदारी करतो.

२. व्यावसायिक तांत्रिक सहाय्य
· समर्पित ऑन-साईट सपोर्ट: महत्त्वाच्या रॅम्प-अप टप्प्यांसाठी (सामान्यत: २-४ आठवडे) प्रमाणित अभियंत्यांना नियुक्त करा, ज्यामध्ये हे समाविष्ट आहे:
उपकरणांचे कॅलिब्रेशन आणि प्रक्रिया फाइन-ट्यूनिंग
ऑपरेटर क्षमता प्रशिक्षण
ISO वर्ग ५ क्लीनरूम इंटिग्रेशन मार्गदर्शन
· भविष्यसूचक देखभाल: अनियोजित डाउनटाइम टाळण्यासाठी कंपन विश्लेषण आणि सर्वो मोटर डायग्नोस्टिक्ससह तिमाही आरोग्य तपासणी.
· रिमोट मॉनिटरिंग: आमच्या IoT प्लॅटफॉर्म (JCFront Connect®) द्वारे स्वयंचलित विसंगती सूचनांसह रिअल-टाइम उपकरणांच्या कामगिरीचा मागोवा घेणे.

३. मूल्यवर्धित सेवा
· प्रक्रिया ज्ञानाचा आधार: विविध साहित्यांसाठी ३००+ प्रमाणित कटिंग रेसिपीजमध्ये प्रवेश करा (त्रैमासिक अद्यतनित).
· तंत्रज्ञान रोडमॅप संरेखन: हार्डवेअर/सॉफ्टवेअर अपग्रेड मार्गांसह (उदा., एआय-आधारित दोष शोध मॉड्यूल) तुमच्या गुंतवणुकीचे भविष्य-प्रूफ.
· आपत्कालीन प्रतिसाद: ४ तासांचे रिमोट डायग्नोसिस आणि ४८ तासांचे ऑन-साइट हस्तक्षेप (जागतिक कव्हरेज) याची हमी.

४. सेवा पायाभूत सुविधा
· कामगिरीची हमी: SLA-समर्थित प्रतिसाद वेळेसह ≥98% उपकरणांच्या अपटाइमसाठी करारानुसार वचनबद्धता.

सतत सुधारणा

आम्ही दर दोन वर्षांनी ग्राहक समाधान सर्वेक्षण करतो आणि सेवा वितरण वाढविण्यासाठी कैझेन उपक्रम राबवतो. आमची संशोधन आणि विकास टीम फील्ड इनसाइट्सचे उपकरणांच्या अपग्रेडमध्ये रूपांतर करते - फर्मवेअर सुधारणांपैकी ३०% क्लायंटच्या अभिप्रायातून येतात.