नीलमणी SiC Si साठी आयन बीम पॉलिशिंग मशीन
तपशीलवार आकृती
आयन बीम पॉलिशिंग मशीनचे उत्पादन विहंगावलोकन
आयन बीम फिगरिंग आणि पॉलिशिंग मशीन आयन स्पटरिंगच्या तत्त्वावर आधारित आहे. उच्च-व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये, एक आयन स्रोत प्लाझ्मा तयार करतो, जो उच्च-ऊर्जा आयन बीममध्ये प्रवेगित होतो. हा बीम ऑप्टिकल घटकाच्या पृष्ठभागावर बॉम्बफेक करतो, अल्ट्रा-अचूक पृष्ठभाग सुधारणा आणि फिनिशिंग साध्य करण्यासाठी अणु प्रमाणात सामग्री काढून टाकतो.
संपर्क नसलेली प्रक्रिया म्हणून, आयन बीम पॉलिशिंग यांत्रिक ताण कमी करते आणि पृष्ठभागाचे नुकसान टाळते, ज्यामुळे ते खगोलशास्त्र, अंतराळ, अर्धवाहक आणि प्रगत संशोधन अनुप्रयोगांमध्ये वापरल्या जाणाऱ्या उच्च-परिशुद्धता ऑप्टिक्सच्या निर्मितीसाठी आदर्श बनते.
आयन बीम पॉलिशिंग मशीनचे कार्य तत्व
आयन जनरेशन
निष्क्रिय वायू (उदा., आर्गॉन) व्हॅक्यूम चेंबरमध्ये आणला जातो आणि विद्युत स्त्रावद्वारे प्लाझ्मा तयार करण्यासाठी आयनीकरण केला जातो.
प्रवेग आणि बीम निर्मिती
आयनांना अनेक शंभर किंवा हजार इलेक्ट्रॉन व्होल्ट (eV) पर्यंत प्रवेगित केले जाते आणि एका स्थिर, केंद्रित बीम स्पॉटमध्ये आकार दिला जातो.
साहित्य काढून टाकणे
आयन बीम रासायनिक अभिक्रिया सुरू न करता पृष्ठभागावरून अणू भौतिकरित्या बाहेर काढतो.
त्रुटी शोधणे आणि मार्ग नियोजन
पृष्ठभागावरील आकृतीतील विचलन इंटरफेरोमेट्रीने मोजले जातात. राहण्याचे वेळा निश्चित करण्यासाठी आणि ऑप्टिमाइझ केलेले टूल मार्ग निर्माण करण्यासाठी रिमूव्हल फंक्शन्स लागू केले जातात.
बंद-वळण सुधारणा
RMS/PV अचूकता लक्ष्ये साध्य होईपर्यंत प्रक्रिया आणि मापनाचे पुनरावृत्ती चक्र चालू राहते.
आयन बीम पॉलिशिंग मशीनची प्रमुख वैशिष्ट्ये
सार्वत्रिक पृष्ठभाग सुसंगतता- सपाट, गोलाकार, गोलाकार आणि मुक्त स्वरूपाच्या पृष्ठभागांवर प्रक्रिया करते
अल्ट्रा-स्टेबल रिमूव्हल रेट- सब-नॅनोमीटर आकृती सुधारणा सक्षम करते
नुकसानमुक्त प्रक्रिया- पृष्ठभागावरील दोष किंवा संरचनात्मक बदल नाहीत.
सातत्यपूर्ण कामगिरी- वेगवेगळ्या कडकपणाच्या सामग्रीवर तितकेच चांगले काम करते.
कमी/मध्यम वारंवारता सुधारणा- मध्यम/उच्च-फ्रिक्वेन्सी आर्टिफॅक्ट्स निर्माण न करता त्रुटी दूर करते.
कमी देखभालीची आवश्यकता- कमीत कमी डाउनटाइमसह दीर्घकाळ सतत ऑपरेशन
आयन बीम पॉलिशिंग मशीनची मुख्य तांत्रिक वैशिष्ट्ये
| आयटम | तपशील |
| प्रक्रिया पद्धत | उच्च-निर्वात वातावरणात आयन थुंकणे |
| प्रक्रिया प्रकार | संपर्करहित पृष्ठभागाचे आकृतीकरण आणि पॉलिशिंग |
| कमाल वर्कपीस आकार | Φ४००० मिमी |
| मोशन अक्ष | ३-अक्ष / ५-अक्ष |
| काढण्याची स्थिरता | ≥९५% |
| पृष्ठभागाची अचूकता | पीव्ही < १० एनएम; आरएमएस ≤ ०.५ एनएम (सामान्य आरएमएस < १ एनएम; पीव्ही < १५ एनएम) |
| वारंवारता सुधारणा क्षमता | मध्यम/उच्च वारंवारता त्रुटी न आणता कमी-मध्यम वारंवारता त्रुटी काढून टाकते. |
| सतत ऑपरेशन | व्हॅक्यूम देखभालीशिवाय ३-५ आठवडे |
| देखभाल खर्च | कमी |
आयन बीम पॉलिशिंग मशीनची प्रक्रिया क्षमता
समर्थित पृष्ठभागाचे प्रकार
साधे: सपाट, गोलाकार, प्रिझम
कॉम्प्लेक्स: सममित/असममित लघुगोल, अक्षाबाहेरल लघुगोल, दंडगोलाकार
विशेष: अति-पातळ प्रकाशिकी, स्लॅट प्रकाशिकी, अर्धगोलाकार प्रकाशिकी, कॉन्फॉर्मल प्रकाशिकी, फेज प्लेट्स, फ्रीफॉर्म पृष्ठभाग
समर्थित साहित्य
ऑप्टिकल ग्लास: क्वार्ट्ज, मायक्रोक्रिस्टलाइन, K9, इ.
इन्फ्रारेड साहित्य: सिलिकॉन, जर्मेनियम, इ.
धातू: अॅल्युमिनियम, स्टेनलेस स्टील, टायटॅनियम मिश्र धातु, इ.
क्रिस्टल्स: YAG, सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड, इ.
कठीण/ठिसूळ पदार्थ: सिलिकॉन कार्बाइड, इ.
पृष्ठभागाची गुणवत्ता / अचूकता
पीव्ही < १० एनएम
आरएमएस ≤ ०.५ एनएम
आयन बीम पॉलिशिंग मशीनच्या केस स्टडीजवर प्रक्रिया करणे
केस १ - स्टँडर्ड फ्लॅट मिरर
वर्कपीस: D630 मिमी क्वार्ट्ज फ्लॅट
निकाल: पीव्ही ४६.४ एनएम; आरएमएस ४.६३ एनएम
प्रकरण २ - एक्स-रे रिफ्लेक्टीव्ह मिरर
वर्कपीस: १५० × ३० मिमी सिलिकॉन फ्लॅट
निकाल: पीव्ही ८.३ एनएम; आरएमएस ०.३७९ एनएम; उतार ०.१३ µrad
केस ३ - ऑफ-अ‍ॅक्सिस मिरर
वर्कपीस: D326 मिमी ऑफ-अक्ष ग्राउंड मिरर
निकाल: पीव्ही ३५.९ एनएम; आरएमएस ३.९ एनएम
क्वार्ट्ज ग्लासेसचे वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न
वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न – आयन बीम पॉलिशिंग मशीन
प्रश्न १: आयन बीम पॉलिशिंग म्हणजे काय?
अ१:आयन बीम पॉलिशिंग ही एक संपर्क नसलेली प्रक्रिया आहे जी वर्कपीस पृष्ठभागावरून सामग्री काढण्यासाठी आयनांच्या केंद्रित बीम (जसे की आर्गॉन आयन) वापरते. आयन जलद गतीने पृष्ठभागाकडे निर्देशित केले जातात, ज्यामुळे अणु-स्तरीय सामग्री काढून टाकली जाते, परिणामी अल्ट्रा-स्मूथ फिनिशिंग होते. ही प्रक्रिया यांत्रिक ताण आणि पृष्ठभागाच्या पृष्ठभागावरील नुकसान दूर करते, ज्यामुळे ते अचूक ऑप्टिकल घटकांसाठी आदर्श बनते.
प्रश्न २: आयन बीम पॉलिशिंग मशीन कोणत्या प्रकारच्या पृष्ठभागांवर प्रक्रिया करू शकते?
ए२:दआयन बीम पॉलिशिंग मशीनसाध्या ऑप्टिकल घटकांसह विविध पृष्ठभागांवर प्रक्रिया करू शकतेसपाट, गोल आणि प्रिझम, तसेच जटिल भूमिती जसे कीअ‍ॅस्फिअर्स, ऑफ-अक्ष अ‍ॅस्फिअर्स, आणिमुक्त स्वरूपाचे पृष्ठभाग. हे विशेषतः ऑप्टिकल ग्लास, इन्फ्रारेड ऑप्टिक्स, धातू आणि कठीण/ठिसूळ पदार्थांसारख्या पदार्थांवर प्रभावी आहे.
प्रश्न ३: आयन बीम पॉलिशिंग मशीन कोणत्या साहित्याने काम करू शकते?
ए३:दआयन बीम पॉलिशिंग मशीनविविध प्रकारच्या साहित्यांना पॉलिश करू शकते, ज्यात समाविष्ट आहे:
-
ऑप्टिकल ग्लास: क्वार्ट्ज, मायक्रोक्रिस्टलाइन, K9, इ.
-
इन्फ्रारेड साहित्य: सिलिकॉन, जर्मेनियम, इ.
-
धातू: अॅल्युमिनियम, स्टेनलेस स्टील, टायटॅनियम मिश्र धातु, इ.
-
क्रिस्टल साहित्य: YAG, सिंगल-क्रिस्टल सिलिकॉन कार्बाइड, इ.
-
इतर कठीण/ठिसूळ साहित्य: सिलिकॉन कार्बाइड, इ.
आमच्याबद्दल
XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास आणि नवीन क्रिस्टल मटेरियलच्या उच्च-तंत्रज्ञान विकास, उत्पादन आणि विक्रीमध्ये विशेषज्ञ आहे. आमची उत्पादने ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, ग्राहक इलेक्ट्रॉनिक्स आणि सैन्यासाठी सेवा देतात. आम्ही नीलमणी ऑप्टिकल घटक, मोबाइल फोन लेन्स कव्हर, सिरॅमिक्स, LT, सिलिकॉन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज आणि सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफर्स ऑफर करतो. कुशल कौशल्य आणि अत्याधुनिक उपकरणांसह, आम्ही मानक नसलेल्या उत्पादन प्रक्रियेत उत्कृष्ट कामगिरी करतो, एक आघाडीचा ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक मटेरियल हाय-टेक एंटरप्राइझ बनण्याचे उद्दिष्ट ठेवतो.
