एक लेख तुम्हाला TGV मध्ये मास्टर बनवतो.

१. काचेचा थर तयार करणे (अ): सुरुवातीला काचेचा थर तयार करा जेणेकरून त्याचा पृष्ठभाग गुळगुळीत आणि स्वच्छ राहील.

२. काचेचे ड्रिलिंग (ब): काचेच्या सब्सट्रेटमध्ये पेनिट्रेशन होल तयार करण्यासाठी लेसरचा वापर केला जातो. छिद्राचा आकार सामान्यतः शंकूच्या आकाराचा असतो आणि एका बाजूला लेसर ट्रीटमेंट केल्यानंतर, ते उलटे केले जाते आणि दुसऱ्या बाजूला प्रक्रिया केली जाते.

३. छिद्र भिंतीचे धातूकरण (c): छिद्र भिंतीवर धातूकरण केले जाते, सामान्यतः PVD, CVD आणि इतर प्रक्रियांद्वारे छिद्र भिंतीवर एक प्रवाहकीय धातूचा बीज थर तयार केला जातो, जसे की Ti/Cu, Cr/Cu, इ.

४. लिथोग्राफी (d): काचेच्या सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर फोटोरेझिस्ट आणि फोटोपॅटर्नचा लेप असतो. ज्या भागांना प्लेटिंगची आवश्यकता नाही ते उघडे करा, जेणेकरून फक्त ज्या भागांना प्लेटिंगची आवश्यकता आहे ते उघडे पडतील.

५. छिद्र भरणे (e): संपूर्ण प्रवाहकीय मार्ग तयार करण्यासाठी छिद्रांमधून काच भरण्यासाठी तांब्याचे इलेक्ट्रोप्लेटिंग. सामान्यतः छिद्र पूर्णपणे भरलेले असणे आवश्यक असते ज्यामध्ये कोणतेही छिद्र नसतात. लक्षात ठेवा की आकृतीमधील Cu पूर्णपणे भरलेले नाही.

६. सब्सट्रेटचा सपाट पृष्ठभाग (f): काही TGV प्रक्रिया भरलेल्या काचेच्या सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर सपाट करतील जेणेकरून सब्सट्रेटची पृष्ठभाग गुळगुळीत राहील, जी पुढील प्रक्रियेच्या चरणांसाठी अनुकूल असेल.

७. संरक्षक थर आणि टर्मिनल कनेक्शन (g): काचेच्या सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर एक संरक्षक थर (जसे की पॉलिमाइड) तयार होतो.

थोडक्यात, TGV प्रक्रियेतील प्रत्येक टप्पा महत्त्वाचा असतो आणि त्यासाठी अचूक नियंत्रण आणि ऑप्टिमायझेशन आवश्यक असते. आवश्यक असल्यास आम्ही सध्या TGV ग्लास थ्रू होल तंत्रज्ञान देऊ करतो. कृपया आमच्याशी संपर्क साधा!

(वरील माहिती इंटरनेटवरून घेतली आहे, सेन्सॉरिंग)