वेफर मॅन्युफॅक्चरिंगमधील एसपीसी सिस्टमची सखोल माहिती

1. SPC प्रणालीचे विहंगावलोकन

SPC ही एक पद्धत आहे जी उत्पादन प्रक्रियांचे निरीक्षण आणि नियंत्रण करण्यासाठी सांख्यिकीय तंत्र वापरते. रीअल-टाइम डेटा संकलित करून आणि त्याचे विश्लेषण करून, अभियंत्यांना वेळेवर समायोजन आणि निर्णय घेण्यास मदत करून उत्पादन प्रक्रियेतील विसंगती शोधणे हे त्याचे मुख्य कार्य आहे. SPC चे उद्दिष्ट उत्पादन प्रक्रियेतील तफावत कमी करणे, उत्पादनाची गुणवत्ता स्थिर राहणे आणि विनिर्देशांची पूर्तता करणे हे आहे.

एसपीसीचा वापर एचिंग प्रक्रियेत यासाठी केला जातो:

क्रिटिकल इक्विपमेंट पॅरामीटर्सचे निरीक्षण करा (उदा. इच रेट, आरएफ पॉवर, चेंबर प्रेशर, तापमान इ.)

मुख्य उत्पादन गुणवत्ता निर्देशकांचे विश्लेषण करा (उदा. रेखाविड्थ, खोदण्याची खोली, काठाचा खडबडीतपणा इ.)

या पॅरामीटर्सचे निरीक्षण करून, अभियंते उपकरणांच्या कामगिरीतील ऱ्हास किंवा उत्पादन प्रक्रियेतील विचलन दर्शवणारे ट्रेंड शोधू शकतात, त्यामुळे भंगार दर कमी होतात.

2. SPC प्रणालीचे मूलभूत घटक

SPC प्रणाली अनेक प्रमुख मॉड्यूल्सची बनलेली आहे:

डेटा कलेक्शन मॉड्युल: उपकरणे आणि प्रक्रिया प्रवाह (उदा. FDC, EES प्रणालींद्वारे) मधून रिअल-टाइम डेटा संकलित करते आणि महत्त्वाचे पॅरामीटर्स आणि उत्पादन परिणाम रेकॉर्ड करते.

नियंत्रण चार्ट मॉड्यूल: प्रक्रियेच्या स्थिरतेची कल्पना करण्यासाठी आणि प्रक्रिया नियंत्रणात आहे की नाही हे निर्धारित करण्यात मदत करण्यासाठी सांख्यिकीय नियंत्रण चार्ट (उदा. X-बार चार्ट, R चार्ट, Cp/Cpk चार्ट) वापरते.

अलार्म सिस्टम: जेव्हा गंभीर पॅरामीटर्स नियंत्रण मर्यादा ओलांडतात किंवा ट्रेंड बदल दर्शवतात, तेव्हा अभियंत्यांना कारवाई करण्यास प्रवृत्त करते.

विश्लेषण आणि अहवाल मॉड्यूल: एसपीसी चार्टवर आधारित विसंगतींच्या मूळ कारणांचे विश्लेषण करते आणि प्रक्रिया आणि उपकरणांसाठी नियमितपणे कामगिरी अहवाल तयार करते.

3. SPC मधील नियंत्रण चार्टचे तपशीलवार स्पष्टीकरण

नियंत्रण तक्ते हे SPC मधील सर्वात सामान्यपणे वापरल्या जाणाऱ्या साधनांपैकी एक आहे, जे "सामान्य भिन्नता" (नैसर्गिक प्रक्रियेच्या भिन्नतेमुळे उद्भवणारे) आणि "असामान्य भिन्नता" (उपकरणांच्या बिघाडामुळे किंवा प्रक्रियेच्या विचलनामुळे) यांच्यात फरक करण्यास मदत करतात. सामान्य नियंत्रण चार्टमध्ये हे समाविष्ट आहे:

एक्स-बार आणि आर चार्ट: प्रक्रिया स्थिर आहे की नाही हे निरीक्षण करण्यासाठी उत्पादन बॅचमधील सरासरी आणि श्रेणीचे निरीक्षण करण्यासाठी वापरले जाते.

Cp आणि Cpk निर्देशांक: प्रक्रिया क्षमता मोजण्यासाठी वापरला जातो, म्हणजे, प्रक्रिया आउटपुट सुसंगतपणे तपशील आवश्यकता पूर्ण करू शकते की नाही. Cp संभाव्य क्षमतेचे मोजमाप करते, तर Cpk विनिर्देश मर्यादेपासून प्रक्रिया केंद्राच्या विचलनाचा विचार करते.

उदाहरणार्थ, एचिंग प्रक्रियेमध्ये, तुम्ही एच रेट आणि पृष्ठभागाच्या खडबडीत सारख्या पॅरामीटर्सचे निरीक्षण करू शकता. उपकरणाच्या विशिष्ट भागाचा नक्षीचा दर नियंत्रण मर्यादेपेक्षा जास्त असल्यास, ही नैसर्गिक भिन्नता आहे की उपकरणाच्या खराबतेचे संकेत आहे हे निर्धारित करण्यासाठी आपण नियंत्रण चार्ट वापरू शकता.

4. एचिंग इक्विपमेंटमध्ये एसपीसीचा वापर

एचिंग प्रक्रियेत, उपकरणांचे मापदंड नियंत्रित करणे महत्वाचे आहे आणि SPC खालील प्रकारे प्रक्रियेची स्थिरता सुधारण्यास मदत करते:

इक्विपमेंट कंडिशन मॉनिटरिंग: एफडीसी सारख्या सिस्टीम एचिंग उपकरणांच्या मुख्य पॅरामीटर्सवर रीअल-टाइम डेटा संकलित करतात (उदा., आरएफ पॉवर, गॅस फ्लो) आणि संभाव्य उपकरण समस्या शोधण्यासाठी हा डेटा एसपीसी कंट्रोल चार्टसह एकत्र करतात. उदाहरणार्थ, नियंत्रण चार्टवरील RF पॉवर सेट मूल्यापासून हळूहळू विचलित होत असल्याचे तुम्हाला दिसल्यास, उत्पादनाच्या गुणवत्तेवर परिणाम होऊ नये म्हणून तुम्ही समायोजन किंवा देखभालीसाठी लवकर कारवाई करू शकता.

उत्पादन गुणवत्तेचे निरीक्षण: तुम्ही त्यांच्या स्थिरतेचे परीक्षण करण्यासाठी SPC प्रणालीमध्ये मुख्य उत्पादन गुणवत्ता पॅरामीटर्स (उदा. खोदण्याची खोली, लाइनविड्थ) देखील इनपुट करू शकता. काही गंभीर उत्पादन निर्देशक हळूहळू लक्ष्य मूल्यांपासून विचलित झाल्यास, SPC प्रणाली एक अलार्म जारी करेल, जे सूचित करेल की प्रक्रिया समायोजन आवश्यक आहे.

प्रतिबंधात्मक देखभाल (PM): SPC उपकरणांसाठी प्रतिबंधात्मक देखभाल चक्र ऑप्टिमाइझ करण्यात मदत करू शकते. उपकरणाच्या कार्यप्रदर्शन आणि प्रक्रियेच्या परिणामांवरील दीर्घकालीन डेटाचे विश्लेषण करून, आपण उपकरणे देखभालीसाठी इष्टतम वेळ निर्धारित करू शकता. उदाहरणार्थ, RF पॉवर आणि ESC आयुर्मानाचे निरीक्षण करून, आपण साफसफाईची किंवा घटक बदलण्याची आवश्यकता असताना, उपकरणे निकामी होण्याचे दर आणि उत्पादन डाउनटाइम कमी करणे हे निर्धारित करू शकता.

5. SPC प्रणालीसाठी दैनंदिन वापराच्या टिपा

दैनंदिन कामकाजात एसपीसी प्रणाली वापरताना, खालील चरणांचे पालन केले जाऊ शकते:

की कंट्रोल पॅरामीटर्स (KPI) परिभाषित करा: उत्पादन प्रक्रियेतील सर्वात महत्वाचे पॅरामीटर्स ओळखा आणि त्यांना SPC मॉनिटरिंगमध्ये समाविष्ट करा. हे पॅरामीटर्स उत्पादन गुणवत्ता आणि उपकरणाच्या कामगिरीशी जवळून संबंधित असले पाहिजेत.

नियंत्रण मर्यादा आणि अलार्म मर्यादा सेट करा: ऐतिहासिक डेटा आणि प्रक्रिया आवश्यकतांवर आधारित, प्रत्येक पॅरामीटरसाठी वाजवी नियंत्रण मर्यादा आणि अलार्म मर्यादा सेट करा. नियंत्रण मर्यादा सहसा ±3σ (मानक विचलन) वर सेट केल्या जातात, तर अलार्म मर्यादा प्रक्रियेच्या आणि उपकरणांच्या विशिष्ट परिस्थितींवर आधारित असतात.

सतत देखरेख आणि विश्लेषण: डेटा ट्रेंड आणि फरकांचे विश्लेषण करण्यासाठी नियमितपणे SPC नियंत्रण चार्टचे पुनरावलोकन करा. काही पॅरामीटर्स नियंत्रण मर्यादा ओलांडत असल्यास, तात्काळ कारवाई करणे आवश्यक आहे, जसे की उपकरणे पॅरामीटर्स समायोजित करणे किंवा उपकरणे देखभाल करणे.

असामान्यता हाताळणे आणि मूळ कारणांचे विश्लेषण: जेव्हा एखादी असामान्यता उद्भवते, तेव्हा SPC प्रणाली घटनेबद्दल तपशीलवार माहिती नोंदवते. तुम्हाला या माहितीच्या आधारे विकृतीचे मूळ कारण समस्यानिवारण आणि विश्लेषण करणे आवश्यक आहे. उपकरणातील बिघाड, प्रक्रियेतील विचलन किंवा बाह्य पर्यावरणीय घटकांमुळे समस्या उद्भवली आहे का याचे विश्लेषण करण्यासाठी FDC सिस्टीम, EES सिस्टीम इत्यादींकडील डेटा एकत्र करणे शक्य होते.

सतत सुधारणा: SPC प्रणालीद्वारे रेकॉर्ड केलेल्या ऐतिहासिक डेटाचा वापर करून, प्रक्रियेतील कमकुवत मुद्दे ओळखा आणि सुधारणा योजना प्रस्तावित करा. उदाहरणार्थ, एचिंग प्रक्रियेत, उपकरणे देखभाल चक्रांवर ESC आयुर्मान आणि साफसफाईच्या पद्धतींच्या प्रभावाचे विश्लेषण करा आणि उपकरणे ऑपरेटिंग पॅरामीटर्स सतत ऑप्टिमाइझ करा.

6. प्रॅक्टिकल ऍप्लिकेशन केस

एक व्यावहारिक उदाहरण म्हणून, समजा तुम्ही E-MAX उपकरणे एचिंगसाठी जबाबदार आहात आणि चेंबर कॅथोड अकाली पोशाख अनुभवत आहे, ज्यामुळे D0 (BARC दोष) मूल्यांमध्ये वाढ होते. एसपीसी प्रणालीद्वारे आरएफ पॉवर आणि एच रेटचे निरीक्षण करून, तुम्हाला एक ट्रेंड लक्षात येईल जिथे हे पॅरामीटर्स त्यांच्या सेट मूल्यांपासून हळूहळू विचलित होतात. SPC अलार्म ट्रिगर झाल्यानंतर, तुम्ही FDC सिस्टीममधील डेटा एकत्र करा आणि चेंबरमधील अस्थिर तापमान नियंत्रणामुळे समस्या उद्भवली आहे हे निर्धारित करा. त्यानंतर तुम्ही नवीन साफसफाईच्या पद्धती आणि देखभाल धोरणे अंमलात आणता, शेवटी D0 मूल्य 4.3 वरून 2.4 पर्यंत कमी करता, ज्यामुळे उत्पादनाची गुणवत्ता सुधारते.

7. XINKEHUI मध्ये तुम्ही मिळवू शकता.

XINKEHUI वर, तुम्ही परिपूर्ण वेफर मिळवू शकता, मग ते सिलिकॉन वेफर असो किंवा SiC वेफर. सुस्पष्टता आणि कार्यक्षमतेवर लक्ष केंद्रित करून आम्ही विविध उद्योगांसाठी उच्च-गुणवत्तेचे वेफर्स वितरीत करण्यात माहिर आहोत.