SiC वेफरचा सारांश
ऑटोमोटिव्ह, अक्षय ऊर्जा आणि एरोस्पेस क्षेत्रातील उच्च-शक्ती, उच्च-फ्रिक्वेन्सी आणि उच्च-तापमान इलेक्ट्रॉनिक्ससाठी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर्स पसंतीचे सब्सट्रेट बनले आहेत. आमच्या पोर्टफोलिओमध्ये प्रमुख पॉलीटाइप्स आणि डोपिंग योजनांचा समावेश आहे - नायट्रोजन-डोपेड 4H (4H-N), उच्च-शुद्धता सेमी-इन्सुलेटिंग (HPSI), नायट्रोजन-डोपेड 3C (3C-N), आणि p-प्रकार 4H/6H (4H/6H-P)- हे तीन दर्जेदार ग्रेडमध्ये ऑफर केले जातात: PRIME (पूर्णपणे पॉलिश केलेले, डिव्हाइस-ग्रेड सब्सट्रेट्स), डमी (प्रक्रिया चाचण्यांसाठी लॅप केलेले किंवा अनपॉलिश केलेले), आणि रिसर्च (R&D साठी कस्टम एपि लेयर्स आणि डोपिंग प्रोफाइल). वेफर व्यास 2″, 4″, 6″, 8″ आणि 12″ पर्यंत पसरतात जे लेगसी टूल्स आणि प्रगत फॅब्स दोन्हीसाठी योग्य आहेत. आम्ही इन-हाऊस क्रिस्टल वाढीस समर्थन देण्यासाठी मोनोक्रिस्टलाइन बाउल्स आणि अचूकपणे ओरिएंटेड सीड क्रिस्टल्स देखील पुरवतो.
आमच्या 4H-N वेफर्समध्ये 1×10¹⁶ ते 1×10¹⁹ cm⁻³ पर्यंत वाहक घनता आणि 0.01–10 Ω·cm प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे उत्कृष्ट इलेक्ट्रॉन गतिशीलता आणि 2 MV/cm पेक्षा जास्त ब्रेकडाउन फील्ड मिळतात—शॉटकी डायोड, MOSFET आणि JFET साठी आदर्श. HPSI सब्सट्रेट्स 0.1 cm⁻² पेक्षा कमी मायक्रोपाइप घनतेसह 1×10¹² Ω·cm प्रतिरोधकता ओलांडतात, ज्यामुळे RF आणि मायक्रोवेव्ह उपकरणांसाठी किमान गळती सुनिश्चित होते. 2″ आणि 4″ स्वरूपात उपलब्ध असलेले क्यूबिक 3C-N, सिलिकॉनवर हेटेरोएपिटॅक्सी सक्षम करते आणि नवीन फोटोनिक आणि MEMS अनुप्रयोगांना समर्थन देते. P-प्रकार 4H/6H-P वेफर्स, 1×10¹⁶–5×10¹⁸ cm⁻³ पर्यंत अॅल्युमिनियमसह डोप केलेले, पूरक डिव्हाइस आर्किटेक्चर सुलभ करतात.
PRIME वेफर्सना <0.2 nm RMS पृष्ठभागाच्या खडबडीतपणापर्यंत रासायनिक-यांत्रिक पॉलिशिंग, एकूण जाडी 3 µm पेक्षा कमी फरक आणि <10 µm पर्यंत पॉलिशिंग केले जाते. डमी सब्सट्रेट्स असेंब्ली आणि पॅकेजिंग चाचण्यांना गती देतात, तर RESEARCH वेफर्समध्ये 2-30 µm च्या एपि-लेयर जाडी आणि बेस्पोक डोपिंग असते. सर्व उत्पादने एक्स-रे डिफ्रॅक्शन (रॉकिंग वक्र <30 आर्कसेक) आणि रमन स्पेक्ट्रोस्कोपीद्वारे प्रमाणित केली जातात, इलेक्ट्रिकल चाचण्यांसह - हॉल मापन, C-V प्रोफाइलिंग आणि मायक्रोपाइप स्कॅनिंग - JEDEC आणि SEMI अनुपालन सुनिश्चित करतात.
१५० मिमी व्यासापर्यंतचे बाउल पीव्हीटी आणि सीव्हीडी द्वारे वाढवले जातात ज्यांची विस्थापन घनता १×१०³ सेमी⁻² पेक्षा कमी असते आणि मायक्रोपाइपची संख्या कमी असते. पुनरुत्पादक वाढ आणि उच्च कापणी उत्पादनाची हमी देण्यासाठी बियाणे क्रिस्टल्स सी-अक्षाच्या ०.१° च्या आत कापले जातात.
अनेक पॉलीटाइप्स, डोपिंग प्रकार, दर्जेदार ग्रेड, वेफर आकार आणि इन-हाऊस बाउल आणि सीड-क्रिस्टल उत्पादन एकत्रित करून, आमचे SiC सब्सट्रेट प्लॅटफॉर्म पुरवठा साखळी सुव्यवस्थित करते आणि इलेक्ट्रिक वाहने, स्मार्ट ग्रिड आणि कठोर-पर्यावरण अनुप्रयोगांसाठी डिव्हाइस विकासाला गती देते.
SiC वेफरचा सारांश
ऑटोमोटिव्ह, अक्षय ऊर्जा आणि एरोस्पेस क्षेत्रातील उच्च-शक्ती, उच्च-फ्रिक्वेन्सी आणि उच्च-तापमान इलेक्ट्रॉनिक्ससाठी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर्स पसंतीचे सब्सट्रेट बनले आहेत. आमच्या पोर्टफोलिओमध्ये प्रमुख पॉलीटाइप्स आणि डोपिंग योजनांचा समावेश आहे - नायट्रोजन-डोपेड 4H (4H-N), उच्च-शुद्धता सेमी-इन्सुलेटिंग (HPSI), नायट्रोजन-डोपेड 3C (3C-N), आणि p-प्रकार 4H/6H (4H/6H-P)- हे तीन दर्जेदार ग्रेडमध्ये ऑफर केले जातात: PRIME (पूर्णपणे पॉलिश केलेले, डिव्हाइस-ग्रेड सब्सट्रेट्स), डमी (प्रक्रिया चाचण्यांसाठी लॅप केलेले किंवा अनपॉलिश केलेले), आणि रिसर्च (R&D साठी कस्टम एपि लेयर्स आणि डोपिंग प्रोफाइल). वेफर व्यास 2″, 4″, 6″, 8″ आणि 12″ पर्यंत पसरतात जे लेगसी टूल्स आणि प्रगत फॅब्स दोन्हीसाठी योग्य आहेत. आम्ही इन-हाऊस क्रिस्टल वाढीस समर्थन देण्यासाठी मोनोक्रिस्टलाइन बाउल्स आणि अचूकपणे ओरिएंटेड सीड क्रिस्टल्स देखील पुरवतो.
आमच्या 4H-N वेफर्समध्ये 1×10¹⁶ ते 1×10¹⁹ cm⁻³ पर्यंत वाहक घनता आणि 0.01–10 Ω·cm प्रतिरोधकता आहे, ज्यामुळे उत्कृष्ट इलेक्ट्रॉन गतिशीलता आणि 2 MV/cm पेक्षा जास्त ब्रेकडाउन फील्ड मिळतात—शॉटकी डायोड, MOSFET आणि JFET साठी आदर्श. HPSI सब्सट्रेट्स 0.1 cm⁻² पेक्षा कमी मायक्रोपाइप घनतेसह 1×10¹² Ω·cm प्रतिरोधकता ओलांडतात, ज्यामुळे RF आणि मायक्रोवेव्ह उपकरणांसाठी किमान गळती सुनिश्चित होते. 2″ आणि 4″ स्वरूपात उपलब्ध असलेले क्यूबिक 3C-N, सिलिकॉनवर हेटेरोएपिटॅक्सी सक्षम करते आणि नवीन फोटोनिक आणि MEMS अनुप्रयोगांना समर्थन देते. P-प्रकार 4H/6H-P वेफर्स, 1×10¹⁶–5×10¹⁸ cm⁻³ पर्यंत अॅल्युमिनियमसह डोप केलेले, पूरक डिव्हाइस आर्किटेक्चर सुलभ करतात.
PRIME वेफर्सना <0.2 nm RMS पृष्ठभागाच्या खडबडीतपणापर्यंत रासायनिक-यांत्रिक पॉलिशिंग, एकूण जाडी 3 µm पेक्षा कमी फरक आणि <10 µm पर्यंत पॉलिशिंग केले जाते. डमी सब्सट्रेट्स असेंब्ली आणि पॅकेजिंग चाचण्यांना गती देतात, तर RESEARCH वेफर्समध्ये 2-30 µm च्या एपि-लेयर जाडी आणि बेस्पोक डोपिंग असते. सर्व उत्पादने एक्स-रे डिफ्रॅक्शन (रॉकिंग वक्र <30 आर्कसेक) आणि रमन स्पेक्ट्रोस्कोपीद्वारे प्रमाणित केली जातात, इलेक्ट्रिकल चाचण्यांसह - हॉल मापन, C-V प्रोफाइलिंग आणि मायक्रोपाइप स्कॅनिंग - JEDEC आणि SEMI अनुपालन सुनिश्चित करतात.
१५० मिमी व्यासापर्यंतचे बाउल पीव्हीटी आणि सीव्हीडी द्वारे वाढवले जातात ज्यांची विस्थापन घनता १×१०³ सेमी⁻² पेक्षा कमी असते आणि मायक्रोपाइपची संख्या कमी असते. पुनरुत्पादक वाढ आणि उच्च कापणी उत्पादनाची हमी देण्यासाठी बियाणे क्रिस्टल्स सी-अक्षाच्या ०.१° च्या आत कापले जातात.
अनेक पॉलीटाइप्स, डोपिंग प्रकार, दर्जेदार ग्रेड, वेफर आकार आणि इन-हाऊस बाउल आणि सीड-क्रिस्टल उत्पादन एकत्रित करून, आमचे SiC सब्सट्रेट प्लॅटफॉर्म पुरवठा साखळी सुव्यवस्थित करते आणि इलेक्ट्रिक वाहने, स्मार्ट ग्रिड आणि कठोर-पर्यावरण अनुप्रयोगांसाठी डिव्हाइस विकासाला गती देते.
SiC वेफरचे चित्र




६ इंच ४H-N प्रकारच्या SiC वेफरची डेटा शीट
६ इंचाचे SiC वेफर्स डेटा शीट | ||||
पॅरामीटर | उप-पॅरामीटर | झेड ग्रेड | पी ग्रेड | डी ग्रेड |
व्यास | १४९.५–१५०.० मिमी | १४९.५–१५०.० मिमी | १४९.५–१५०.० मिमी | |
जाडी | ४ तास-उत्तर | ३५० मायक्रॉन ± १५ मायक्रॉन | ३५० मायक्रॉन ± २५ मायक्रॉन | ३५० मायक्रॉन ± २५ मायक्रॉन |
जाडी | ४H‑SI | ५०० मायक्रॉन ± १५ मायक्रॉन | ५०० मायक्रॉन ± २५ मायक्रॉन | ५०० मायक्रॉन ± २५ मायक्रॉन |
वेफर ओरिएंटेशन | अक्षाबाहेर: ४.०° <११-२०> ±०.५° (४H-N) कडे; अक्षावर: <०००१> ±०.५° (४H-SI) | अक्षाबाहेर: ४.०° <११-२०> ±०.५° (४H-N) कडे; अक्षावर: <०००१> ±०.५° (४H-SI) | अक्षाबाहेर: ४.०° <११-२०> ±०.५° (४H-N) कडे; अक्षावर: <०००१> ±०.५° (४H-SI) | |
मायक्रोपाइप घनता | ४ तास-उत्तर | ≤ ०.२ सेमी⁻² | ≤ २ सेमी⁻² | ≤ १५ सेमी⁻² |
मायक्रोपाइप घनता | ४H‑SI | ≤ १ सेमी⁻² | ≤ ५ सेमी⁻² | ≤ १५ सेमी⁻² |
प्रतिरोधकता | ४ तास-उत्तर | ०.०१५–०.०२४ Ω·सेमी | ०.०१५–०.०२८ Ω·सेमी | ०.०१५–०.०२८ Ω·सेमी |
प्रतिरोधकता | ४H‑SI | ≥ १×१०¹⁰ Ω·सेमी | ≥ १×१०⁵ Ω·सेमी | |
प्राथमिक सपाट दिशानिर्देश | [१०-१०] ± ५.०° | [१०-१०] ± ५.०° | [१०-१०] ± ५.०° | |
प्राथमिक फ्लॅट लांबी | ४ तास-उत्तर | ४७.५ मिमी ± २.० मिमी | ||
प्राथमिक फ्लॅट लांबी | ४H‑SI | खाच | ||
कडा वगळणे | ३ मिमी | |||
वार्प/एलटीव्ही/टीटीव्ही/धनुष्य | ≤2.5 µm / ≤6 µm / ≤25 µm / ≤35 µm | ≤5 µm / ≤15 µm / ≤40 µm / ≤60 µm | ||
खडबडीतपणा | पोलिश | रा ≤ १ नॅनोमीटर | ||
खडबडीतपणा | सीएमपी | रा ≤ ०.२ नॅनोमीटर | रा ≤ ०.५ नॅनोमीटर | |
कडा भेगा | काहीही नाही | संचयी लांबी ≤ २० मिमी, एकल ≤ २ मिमी | ||
हेक्स प्लेट्स | संचयी क्षेत्रफळ ≤ ०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤ ०.१% | संचयी क्षेत्रफळ ≤ १% | |
पॉलीटाइप क्षेत्रे | काहीही नाही | संचयी क्षेत्रफळ ≤ ३% | संचयी क्षेत्रफळ ≤ ३% | |
कार्बन समावेश | संचयी क्षेत्रफळ ≤ ०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤ ३% | ||
पृष्ठभागावरील ओरखडे | काहीही नाही | संचयी लांबी ≤ १ × वेफर व्यास | ||
एज चिप्स | ≥ ०.२ मिमी रुंदी आणि खोलीला परवानगी नाही | ७ चिप्स पर्यंत, प्रत्येकी ≤ १ मिमी | ||
टीएसडी (थ्रेडिंग स्क्रू डिसलोकेशन) | ≤ ५०० सेमी⁻² | परवानगी नाही | ||
बीपीडी (बेस प्लेन डिसलोकेशन) | ≤ १००० सेमी⁻² | परवानगी नाही | ||
पृष्ठभाग दूषित होणे | काहीही नाही | |||
पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर |
४ इंच ४H-N प्रकारच्या SiC वेफरची डेटा शीट
४ इंचाच्या SiC वेफरची डेटा शीट | |||
पॅरामीटर | शून्य एमपीडी उत्पादन | मानक उत्पादन ग्रेड (पी ग्रेड) | डमी ग्रेड (डी ग्रेड) |
व्यास | ९९.५ मिमी–१००.० मिमी | ||
जाडी (४H-न) | ३५० मायक्रॉन±१५ मायक्रॉन | ३५० मायक्रॉन±२५ मायक्रॉन | |
जाडी (४H-Si) | ५०० मायक्रॉन±१५ मायक्रॉन | ५०० मायक्रॉन±२५ मायक्रॉन | |
वेफर ओरिएंटेशन | ऑफ अक्ष: ४.०° <११२०> ४H-N साठी ±०.५° दिशेने; ऑन अक्ष: <०००१> ४H-Si साठी ±०.५° | ||
मायक्रोपाइप घनता (४H-N) | ≤०.२ सेमी⁻² | ≤२ सेमी⁻² | ≤१५ सेमी⁻² |
मायक्रोपाइप घनता (4H-Si) | ≤१ सेमी⁻² | ≤५ सेमी⁻² | ≤१५ सेमी⁻² |
प्रतिरोधकता (४H-N) | ०.०१५–०.०२४ Ω·सेमी | ०.०१५–०.०२८ Ω·सेमी | |
प्रतिरोधकता (4H-Si) | ≥१E१० Ω·सेमी | ≥१E५ Ω·सेमी | |
प्राथमिक सपाट दिशानिर्देश | [१०-१०] ±५.०° | ||
प्राथमिक फ्लॅट लांबी | ३२.५ मिमी ±२.० मिमी | ||
दुय्यम फ्लॅट लांबी | १८.० मिमी ±२.० मिमी | ||
दुय्यम फ्लॅट ओरिएंटेशन | सिलिकॉन फेस अप: प्राइम फ्लॅट ±५.०° पासून ९०° CW | ||
कडा वगळणे | ३ मिमी | ||
एलटीव्ही/टीटीव्ही/बो वार्प | ≤2.5 µm/≤5 µm/≤15 µm/≤30 µm | ≤10 µm/≤15 µm/≤25 µm/≤40 µm | |
खडबडीतपणा | पोलिश रा ≤१ नॅनोमीटर; सीएमपी रा ≤०.२ नॅनोमीटर | रा ≤०.५ नॅनोमीटर | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशामुळे कडा भेगा पडतात | काहीही नाही | काहीही नाही | संचयी लांबी ≤१० मिमी; एकल लांबी ≤२ मिमी |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशाद्वारे हेक्स प्लेट्स | संचयी क्षेत्रफळ ≤०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤0.1% |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशानुसार पॉलीटाइप क्षेत्रे | काहीही नाही | संचयी क्षेत्रफळ ≤३% | |
व्हिज्युअल कार्बन समावेश | संचयी क्षेत्रफळ ≤०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤३% | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशामुळे सिलिकॉन पृष्ठभागावर ओरखडे येणे | काहीही नाही | संचयी लांबी ≤1 वेफर व्यास | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशाने एज चिप्स | ≥०.२ मिमी रुंदी आणि खोलीला परवानगी नाही | ५ परवानगी आहे, प्रत्येकी ≤१ मिमी | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशामुळे सिलिकॉन पृष्ठभागाचे दूषितीकरण | काहीही नाही | ||
थ्रेडिंग स्क्रूचे विस्थापन | ≤५०० सेमी⁻² | परवानगी नाही | |
पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर |
४ इंचाचा HPSI प्रकार SiC वेफरचा डेटा शीट
४ इंचाचा HPSI प्रकार SiC वेफरचा डेटा शीट | |||
पॅरामीटर | शून्य एमपीडी उत्पादन ग्रेड (झेड ग्रेड) | मानक उत्पादन ग्रेड (पी ग्रेड) | डमी ग्रेड (डी ग्रेड) |
व्यास | ९९.५–१००.० मिमी | ||
जाडी (४H-Si) | ५०० मायक्रॉन ±२० मायक्रॉन | ५०० मायक्रॉन ±२५ मायक्रॉन | |
वेफर ओरिएंटेशन | ऑफ अक्ष: ४.०° <११-२०> ४H-N साठी ±०.५° दिशेने; ऑन अक्ष: <०००१> ४H-Si साठी ±०.५° | ||
मायक्रोपाइप घनता (4H-Si) | ≤१ सेमी⁻² | ≤५ सेमी⁻² | ≤१५ सेमी⁻² |
प्रतिरोधकता (4H-Si) | ≥१E९ Ω·सेमी | ≥१E५ Ω·सेमी | |
प्राथमिक सपाट दिशानिर्देश | (१०-१०) ±५.०° | ||
प्राथमिक फ्लॅट लांबी | ३२.५ मिमी ±२.० मिमी | ||
दुय्यम फ्लॅट लांबी | १८.० मिमी ±२.० मिमी | ||
दुय्यम फ्लॅट ओरिएंटेशन | सिलिकॉन फेस अप: प्राइम फ्लॅट ±५.०° पासून ९०° CW | ||
कडा वगळणे | ३ मिमी | ||
एलटीव्ही/टीटीव्ही/बो वार्प | ≤3 µm/≤5 µm/≤15 µm/≤30 µm | ≤10 µm/≤15 µm/≤25 µm/≤40 µm | |
खडबडीतपणा (C चेहरा) | पोलिश | रा ≤१ नॅनोमीटर | |
खडबडीतपणा (Si चेहरा) | सीएमपी | रा ≤0.2 नॅनोमीटर | रा ≤०.५ नॅनोमीटर |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशामुळे कडा भेगा पडतात | काहीही नाही | संचयी लांबी ≤१० मिमी; एकल लांबी ≤२ मिमी | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशाद्वारे हेक्स प्लेट्स | संचयी क्षेत्रफळ ≤०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤0.1% |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशानुसार पॉलीटाइप क्षेत्रे | काहीही नाही | संचयी क्षेत्रफळ ≤३% | |
व्हिज्युअल कार्बन समावेश | संचयी क्षेत्रफळ ≤०.०५% | संचयी क्षेत्रफळ ≤३% | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशामुळे सिलिकॉन पृष्ठभागावर ओरखडे येणे | काहीही नाही | संचयी लांबी ≤1 वेफर व्यास | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशाने एज चिप्स | ≥०.२ मिमी रुंदी आणि खोलीला परवानगी नाही | ५ परवानगी आहे, प्रत्येकी ≤१ मिमी | |
उच्च तीव्रतेच्या प्रकाशामुळे सिलिकॉन पृष्ठभागाचे दूषितीकरण | काहीही नाही | काहीही नाही | |
थ्रेडिंग स्क्रू डिसलोकेशन | ≤५०० सेमी⁻² | परवानगी नाही | |
पॅकेजिंग | मल्टी-वेफर कॅसेट किंवा सिंगल वेफर कंटेनर |
पोस्ट वेळ: जून-३०-२०२५