वेफर पृष्ठभागाच्या गुणवत्तेचे मूल्यांकन करण्यासाठी कोणते निर्देशक आहेत?

टीटीव्ही, बो, वार्पमध्ये काय फरक आहे?

टीटीव्ही जाडीतील बदलांवर लक्ष केंद्रित करते आणि वेफरच्या वाकण्याशी किंवा विकृतीशी संबंधित नाही.

धनुष्य एकूण वाकण्यावर लक्ष केंद्रित करते, प्रामुख्याने केंद्रबिंदू आणि काठाच्या वाकण्याचा विचार करते.

वॉर्प अधिक व्यापक आहे, ज्यामध्ये संपूर्ण वेफर पृष्ठभागाचे वाकणे आणि वळणे समाविष्ट आहे.

जरी हे तीन पॅरामीटर्स सिलिकॉन वेफरच्या आकार आणि भौमितिक गुणधर्मांशी संबंधित असले तरी, त्यांचे मोजमाप आणि वर्णन वेगवेगळ्या प्रकारे केले जाते आणि त्यांचा सेमीकंडक्टर प्रक्रिया आणि वेफर प्रक्रियेवर होणारा परिणाम देखील वेगळा असतो.

तीन पॅरामीटर्स जितके लहान असतील तितके चांगले आणि पॅरामीटर जितका मोठा असेल तितका सेमीकंडक्टर प्रक्रियेवर नकारात्मक परिणाम जास्त होईल. म्हणून, सेमीकंडक्टर प्रॅक्टिशनर म्हणून, आपण संपूर्ण प्रक्रिया प्रक्रियेसाठी वेफर प्रोफाइल पॅरामीटर्सचे महत्त्व लक्षात घेतले पाहिजे, सेमीकंडक्टर प्रक्रिया केली पाहिजे, तपशीलांकडे लक्ष दिले पाहिजे.

(सेन्सॉरिंग)