इतर पदार्थांपासून बनवलेल्या सेमीकंडक्टर सिलिकॉन वेफर्स किंवा सब्सट्रेट्सचे परीक्षण करताना, आपल्याला अनेकदा तांत्रिक निर्देशक आढळतात जसे की: TTV, BOW, WARP, आणि कदाचित TIR, STIR, LTV, इत्यादी. हे कोणते पॅरामीटर्स दर्शवतात?
टीटीव्ही — एकूण जाडीतील फरक
धनुष्य - धनुष्य
वार्प - वार्प
TIR — एकूण निर्देशित वाचन
STIR — साइट एकूण निर्देशित वाचन
LTV — स्थानिक जाडीतील फरक
१. एकूण जाडीतील फरक — टीटीव्ही
जेव्हा वेफर क्लॅम्प केलेले असते आणि जवळच्या संपर्कात असते तेव्हा संदर्भ समतलाच्या सापेक्ष वेफरच्या कमाल आणि किमान जाडीमधील फरक. तो सामान्यतः मायक्रोमीटर (μm) मध्ये व्यक्त केला जातो, जो बहुतेकदा ≤15 μm म्हणून दर्शविला जातो.
२. धनुष्य - धनुष्य
जेव्हा वेफर मुक्त (अनक्लॅम्प्ड) स्थितीत असतो तेव्हा वेफर पृष्ठभागाच्या मध्यबिंदूपासून संदर्भ समतलापर्यंतच्या किमान आणि कमाल अंतरातील विचलन. यामध्ये अवतल (ऋण धनुष्य) आणि बहिर्वक्र (सकारात्मक धनुष्य) दोन्ही केसांचा समावेश होतो. हे सामान्यतः मायक्रोमीटर (μm) मध्ये व्यक्त केले जाते, जे बहुतेकदा असे दर्शविले जाते: ≤40 μm.
३. वार्प — वार्प
जेव्हा वेफर मुक्त (अनक्लॅम्प्ड) स्थितीत असतो तेव्हा वेफर पृष्ठभागापासून संदर्भ समतलापर्यंत (सामान्यतः वेफरच्या मागील पृष्ठभागापर्यंत) किमान आणि कमाल अंतरातील विचलन. यामध्ये अवतल (ऋणात्मक वॉर्प) आणि बहिर्वक्र (सकारात्मक वॉर्प) केस दोन्ही समाविष्ट असतात. हे सामान्यतः मायक्रोमीटर (μm) मध्ये व्यक्त केले जाते, जे बहुतेकदा असे दर्शविले जाते: ≤30 μm.
४. एकूण निर्देशित वाचन — TIR
जेव्हा वेफर क्लॅम्प केलेले असते आणि जवळच्या संपर्कात असते, तेव्हा गुणवत्ता क्षेत्रामधील किंवा वेफर पृष्ठभागावरील निर्दिष्ट स्थानिक प्रदेशातील सर्व बिंदूंच्या इंटरसेप्ट्सची बेरीज कमीत कमी करणाऱ्या संदर्भ समतलचा वापर केला जातो, तेव्हा TIR म्हणजे वेफर पृष्ठभागापासून या संदर्भ समतलापर्यंतच्या कमाल आणि किमान अंतरांमधील विचलन.
TTV, BOW, WARP आणि TIR सारख्या सेमीकंडक्टर मटेरियल स्पेसिफिकेशन्समध्ये सखोल कौशल्यावर स्थापित, XKH कठोर उद्योग मानकांनुसार तयार केलेल्या अचूक कस्टम वेफर प्रोसेसिंग सेवा प्रदान करते. आम्ही नीलम, सिलिकॉन कार्बाइड (SiC), सिलिकॉन वेफर्स, SOI आणि क्वार्ट्जसह उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या मटेरियलच्या विस्तृत श्रेणीचा पुरवठा आणि समर्थन करतो, ज्यामुळे ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, पॉवर डिव्हाइसेस आणि MEMS मधील प्रगत अनुप्रयोगांसाठी अपवादात्मक सपाटपणा, जाडीची सुसंगतता आणि पृष्ठभागाची गुणवत्ता सुनिश्चित होते. तुमच्या सर्वात मागणी असलेल्या डिझाइन आवश्यकता पूर्ण करणारे विश्वसनीय मटेरियल सोल्यूशन्स आणि अचूक मशीनिंग वितरित करण्यासाठी आमच्यावर विश्वास ठेवा.
पोस्ट वेळ: ऑगस्ट-२९-२०२५