उपकरणांसाठी CVD SiC कोटिंगसह SiC सिरेमिक ट्रे प्लेट ग्रेफाइट

सिलिकॉन कार्बाइड सिरॅमिक्सचा वापर केवळ पातळ फिल्म डिपॉझिशन स्टेजमध्ये केला जात नाही, जसे की एपिटॅक्सी किंवा एमओसीव्हीडी, किंवा वेफर प्रक्रियेमध्ये, ज्याच्या केंद्रस्थानी एमओसीव्हीडीसाठी वेफर कॅरियर ट्रे प्रथम डिपॉझिशन वातावरणाच्या अधीन असतात आणि त्यामुळे ते अत्यंत प्रतिरोधक असतात. उष्णता आणि गंज. SiC-लेपित वाहकांमध्ये उच्च थर्मल चालकता आणि उत्कृष्ट थर्मल देखील असते वितरण गुणधर्म.

उच्च तापमान मेटल ऑरगॅनिक केमिकल वाफ डिपॉझिशन (MOCVD) प्रक्रियेसाठी शुद्ध रासायनिक वाष्प निक्षेप सिलिकॉन कार्बाइड (CVD SiC) वेफर वाहक.

शुद्ध CVD SiC वेफर वाहक या प्रक्रियेत वापरल्या जाणाऱ्या पारंपारिक वेफर वाहकांपेक्षा लक्षणीयरित्या श्रेष्ठ आहेत, जे ग्रेफाइट आहेत आणि CVD SiC च्या थराने लेपित आहेत. हे लेपित ग्रेफाइट-आधारित वाहक उच्च तापमान (1100 ते 1200 अंश सेल्सिअस) आजच्या उच्च ब्राइटनेस निळ्या आणि पांढऱ्या लेडच्या GaN डिपॉझिशनसाठी आवश्यक आहे. उच्च तापमानामुळे कोटिंगमध्ये लहान पिनहोल तयार होतात ज्याद्वारे प्रक्रिया रसायने खाली ग्रेफाइट नष्ट करतात. ग्रेफाइटचे कण नंतर बाहेर पडतात आणि GaN दूषित करतात, ज्यामुळे लेपित वेफर वाहक बदलले जातात.

CVD SiC ची शुद्धता 99.999% किंवा अधिक आहे आणि उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल शॉक प्रतिरोधकता आहे. म्हणून, ते उच्च ब्राइटनेस एलईडी उत्पादनाच्या उच्च तापमान आणि कठोर वातावरणाचा सामना करू शकते. ही एक घन मोनोलिथिक सामग्री आहे जी सैद्धांतिक घनतेपर्यंत पोहोचते, कमीतकमी कण तयार करते आणि खूप उच्च गंज आणि क्षरण प्रतिरोध दर्शवते. सामग्री धातूच्या अशुद्धतेचा परिचय न करता अपारदर्शकता आणि चालकता बदलू शकते. वेफर वाहक सामान्यत: 17 इंच व्यासाचे असतात आणि 40 2-4 इंच वेफर्स ठेवू शकतात.