सिलिकॉन कार्बाइड कॅन्टिलिव्हर पॅडल (SiC कॅन्टिलिव्हर पॅडल)

उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता

• १०००-१३००℃ तापमानावर विकृतीशिवाय विश्वसनीयरित्या कार्य करते.

• कमाल सेवा तापमान १३८०℃ पर्यंत.

उच्च भार सहन करण्याची क्षमता

• वाकण्याची ताकद २५०-२८० MPa पर्यंत, क्वार्ट्ज पॅडल्सपेक्षा खूपच जास्त.

• मोठ्या व्यासाचे वेफर्स (३०० मिमी आणि त्याहून अधिक) हाताळण्यास सक्षम.

वाढलेला सेवा आयुष्य आणि कमी देखभाल

• कमी थर्मल एक्सपेंशन गुणांक (४.५ × १०⁻⁶ K⁻¹), LPCVD कोटिंग मटेरियलशी चांगले जुळणारे.

• ताणामुळे निर्माण होणारे भेगा आणि सोलणे कमी करते, ज्यामुळे स्वच्छता आणि देखभाल चक्र लक्षणीयरीत्या वाढते.

गंज प्रतिकार आणि शुद्धता

• आम्ल आणि अल्कलींना उत्कृष्ट प्रतिकार.

• दाट सूक्ष्म रचना ज्यामध्ये खुल्या सच्छिद्रतेचे प्रमाण <0.1% असते, ज्यामुळे कण निर्मिती आणि अशुद्धता कमी होते.

ऑटोमेशन-सुसंगत डिझाइन

• उच्च मितीय अचूकतेसह स्थिर क्रॉस-सेक्शनल भूमिती.

• रोबोटिक वेफर लोडिंग आणि अनलोडिंग सिस्टमसह अखंडपणे एकत्रित होते, ज्यामुळे पूर्णपणे स्वयंचलित उत्पादन शक्य होते.