सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टर (फोर्क आर्म/हँड प्रकार)

दसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरउच्च शुद्धता, उच्च घनता आणि दीर्घकालीन विश्वासार्हतेची हमी देणाऱ्या विशेष सिरेमिक फॅब्रिकेशन वर्कफ्लोद्वारे उत्पादन केले जाते. संपूर्ण उत्पादन प्रक्रियेदरम्यान, कठोर गुणवत्ता नियंत्रणे सुनिश्चित करतात की प्रत्येकसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरसेमीकंडक्टर-क्लास ऑटोमेटेड सिस्टमच्या कठोर आवश्यकता पूर्ण करते.

१. साहित्य तयार करणे

उत्पादनाची सुरुवात उच्च-शुद्धता असलेल्या SiC पावडरच्या निवडीपासून होते. हे पावडर यांत्रिक शक्ती आणि शुद्धता निश्चित करतातसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरआदर्श कण पॅकिंग साध्य करण्यासाठी आणि एकसमान घनता वाढविण्यासाठी विशेष बाइंडर आणि सिंटरिंग अॅडिटीव्हज मिसळले जातात.

२. आकार देणे आणि पूर्वनिर्मिती करणे

हिरवे शरीरसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरआयसोस्टॅटिक प्रेसिंग किंवा सिरेमिक इंजेक्शन मोल्डिंग वापरून तयार केले जाते. हे कमीतकमी अंतर्गत दोषांसह ताण-संतुलित रचना सुनिश्चित करते. या टप्प्यावर वेफर व्यास आणि रोबोटिक माउंटिंग इंटरफेसशी जुळण्यासाठी फोर्क-शैलीची भूमिती आकारली जाते.

३. उच्च-तापमान सिंटरिंग

आकाराचा घटक २०००°C पेक्षा जास्त तापमानात व्हॅक्यूम किंवा निष्क्रिय वातावरणात सिंटर केला जातो. या पायरी दरम्यान,सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरसैद्धांतिक घनतेच्या जवळ पोहोचते, उत्कृष्ट कडकपणा, थर्मल शॉक प्रतिरोध आणि रासायनिक स्थिरता प्रदान करते. हा टप्पा घटकाची यांत्रिक अखंडता परिभाषित करतो.

४. सीएनसी प्रेसिजन मशीनिंग

सिंटरिंगनंतर, डायमंड ग्राइंडिंग आणि मल्टी-अॅक्सिस सीएनसी मशीनिंग भूमिती परिष्कृत करतेसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टर. वेफर कॉन्टॅक्ट पृष्ठभाग, माउंटिंग होल, अलाइनमेंट ग्रूव्ह आणि फोर्क स्पेसिंग यासारख्या महत्त्वाच्या वैशिष्ट्यांना ±0.01 मिमी इतक्या घट्ट सहनशीलतेनुसार मशीन केले जाते.

५. पृष्ठभाग पूर्ण करणे आणि साफ करणे

शेवटी, दसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरअल्ट्रा-फाईन पॉलिशिंग आणि उच्च-शुद्धता अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग केले जाते. हे पाऊल पृष्ठभागाचे खडबडीतपणा कमी करते आणि सूक्ष्म-कण काढून टाकते, ज्यामुळे क्लीनरूम सुसंगतता सुनिश्चित होते. पर्यायी CVD-SiC कोटिंग्ज किंवा प्लाझ्मा-प्रतिरोधक थर टिकाऊपणा आणखी वाढवू शकतात.

या बारकाईने उत्पादन करण्याच्या पद्धतीमुळे प्रत्येकसिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक एंड इफेक्टरउच्च-परिशुद्धता ऑटोमेशन वातावरणात विश्वसनीयरित्या कार्य करते.