सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे सकर सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब पुरवठा उच्च तापमान सिंटरिंग कस्टम प्रक्रिया
मुख्य वैशिष्ट्ये:
१. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकता: कडकपणा हिऱ्याच्या जवळ आहे आणि वेफर प्रक्रियेत बराच काळ यांत्रिक पोशाख सहन करू शकतो.
- उच्च थर्मल चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक: जलद उष्णता नष्ट होणे आणि मितीय स्थिरता, थर्मल ताणामुळे होणारे विकृतीकरण टाळते.
- उच्च सपाटपणा आणि पृष्ठभागाची फिनिश: पृष्ठभागाची सपाटता मायक्रॉन पातळीपर्यंत असते, ज्यामुळे वेफर आणि डिस्कमधील पूर्ण संपर्क सुनिश्चित होतो, ज्यामुळे दूषितता आणि नुकसान कमी होते.
रासायनिक स्थिरता: मजबूत गंज प्रतिकार, अर्धवाहक उत्पादनात ओल्या साफसफाई आणि एचिंग प्रक्रियेसाठी योग्य.
२. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान प्रतिरोधकता: ते १६००°C पेक्षा जास्त तापमानाच्या वातावरणात बराच काळ काम करू शकते, जे अर्धसंवाहक उच्च तापमान प्रक्रियेसाठी योग्य आहे.
उत्कृष्ट गंज प्रतिरोधक: आम्ल, अल्कली आणि विविध रासायनिक सॉल्व्हेंट्सना प्रतिरोधक, कठोर प्रक्रिया वातावरणासाठी योग्य.
- उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिरोधकता: कणांची झीज आणि यांत्रिक पोशाखांना प्रतिकार करा, सेवा आयुष्य वाढवा.
- उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक: उष्णतेचे जलद वहन आणि मितीय स्थिरता, थर्मल ताणामुळे होणारे विकृतीकरण किंवा क्रॅकिंग कमी करते.
उत्पादन पॅरामीटर:
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे पॅरामीटर:
| (भौतिक मालमत्ता) | (युनिट) | (ssic) | |
| (SiC सामग्री) | (वॉट)% | >९९ | |
| (सरासरी धान्य आकार) | मायक्रॉन | ४-१० | |
| (घनता) | किलो/डीएम३ | >३.१४ | |
| (उघड सच्छिद्रता) | १% | <0.5 | |
| (विकर्स कडकपणा) | एचव्ही ०.५ | जीपीए | 28 |
| *() लवचिक ताकद* (तीन गुण) | २०ºC | एमपीए | ४५० |
| (संकुचित शक्ती) | २०ºC | एमपीए | ३९०० |
| (लवचिक मापांक) | २०ºC | जीपीए | ४२० |
| (फ्रॅक्चर कडकपणा) | एमपीए/मीटर'% | ३.५ | |
| (औष्णिक चालकता) | २०°से. तापमान | प/(मीटर*के) | १६० |
| (प्रतिरोधकता) | २०°से. तापमान | ओम.सेमी | १०६-१०८ |
(औष्णिक विस्तार गुणांक) | अ(आरटी**...८० डिग्री सेल्सिअस) | के-१*१०-६ | ४.३ |
(जास्तीत जास्त ऑपरेटिंग तापमान) | तापमान | १७०० | |
सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब पॅरामीटर:
| वस्तू | निर्देशांक |
| α-एसआयसी | ९९% किमान |
| उघड सच्छिद्रता | कमाल १६% |
| मोठ्या प्रमाणात घनता | २.७ ग्रॅम/सेमी३ मिनिट |
| उच्च तापमानात वाकण्याची ताकद | १०० एमपीए मिनिट |
| औष्णिक विस्ताराचे गुणांक | के-१ ४.७x१० -६ |
| औष्णिक चालकतेचा गुणांक (१४००ºC) | २४ प/एमके |
| कमाल कार्यरत तापमान | १६५०ºC |
मुख्य अनुप्रयोग:
१. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक प्लेट
- वेफर कटिंग आणि पॉलिशिंग: कटिंग आणि पॉलिशिंग दरम्यान उच्च अचूकता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी बेअरिंग प्लॅटफॉर्म म्हणून काम करते.
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: एक्सपोजर दरम्यान उच्च अचूक स्थिती सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर लिथोग्राफी मशीनमध्ये निश्चित केले जाते.
- केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी): पॅड पॉलिश करण्यासाठी एक आधार प्लॅटफॉर्म म्हणून काम करते, एकसमान दाब आणि उष्णता वितरण प्रदान करते.
२. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान भट्टी ट्यूब: उच्च तापमान प्रक्रिया उपचारांसाठी वेफर्स वाहून नेण्यासाठी प्रसार भट्टी आणि ऑक्सिडेशन भट्टीसारख्या उच्च तापमान उपकरणांसाठी वापरली जाते.
- सीव्हीडी/पीव्हीडी प्रक्रिया: उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंना प्रतिरोधक, अभिक्रिया कक्षात बेअरिंग ट्यूब म्हणून.
- सेमीकंडक्टर उपकरणांचे सामान: हीट एक्सचेंजर्स, गॅस पाइपलाइन इत्यादींसाठी, उपकरणांची थर्मल व्यवस्थापन कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी.
XKH सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे, सक्शन कप आणि सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबसाठी कस्टम सेवांची संपूर्ण श्रेणी देते. सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्रे आणि सक्शन कप, XKH वेगवेगळ्या आकारांच्या, आकारांच्या आणि पृष्ठभागाच्या खडबडीतपणाच्या ग्राहकांच्या गरजांनुसार सानुकूलित केले जाऊ शकतात आणि विशेष कोटिंग उपचारांना समर्थन देतात, पोशाख प्रतिरोध आणि गंज प्रतिकार वाढवतात; सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक ट्यूबसाठी, XKH विविध प्रकारचे आतील व्यास, बाह्य व्यास, लांबी आणि जटिल रचना (जसे की आकाराची ट्यूब किंवा सच्छिद्र ट्यूब) सानुकूलित करू शकते आणि पॉलिशिंग, अँटी-ऑक्सिडेशन कोटिंग आणि इतर पृष्ठभाग उपचार प्रक्रिया प्रदान करू शकते. XKH हे सुनिश्चित करते की ग्राहक सेमीकंडक्टर, एलईडी आणि फोटोव्होल्टाइक्स सारख्या उच्च-स्तरीय उत्पादन क्षेत्रांच्या मागणीच्या आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादनांच्या कामगिरीच्या फायद्यांचा पूर्ण फायदा घेऊ शकतात.
तपशीलवार आकृती
