सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्रे शोषक सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्यूब उच्च तापमानात सानुकूल प्रक्रिया
मुख्य वैशिष्ट्ये:
1. सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्रे
- उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार: कठोरता डायमंडच्या जवळ आहे आणि बर्याच काळासाठी वेफर प्रोसेसिंगमध्ये मेकॅनिकल वेअरचा सामना करू शकतो.
- उच्च औष्णिक चालकता आणि कमी थर्मल विस्तार गुणांक: थर्मल ताणामुळे होणारे विकृती टाळण्यासाठी वेगवान उष्णता अपव्यय आणि मितीय स्थिरता.
- उच्च सपाटपणा आणि पृष्ठभाग समाप्त: पृष्ठभागाचे सपाटपणा मायक्रॉन पातळीपर्यंत आहे, जे वेफर आणि डिस्क दरम्यान संपूर्ण संपर्क सुनिश्चित करते, दूषितपणा आणि नुकसान कमी करते.
रासायनिक स्थिरता: सेमीकंडक्टर मॅन्युफॅक्चरिंगमध्ये ओले साफसफाई आणि एचिंग प्रक्रियेसाठी योग्य मजबूत गंज प्रतिकार.
2. सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान प्रतिकार: हे सेमीकंडक्टर उच्च तापमान प्रक्रियेसाठी योग्य, बर्याच काळासाठी उच्च तापमान वातावरणात 1600 डिग्री सेल्सियसपेक्षा जास्त कार्य करू शकते.
उत्कृष्ट गंज प्रतिरोध: कठोर प्रक्रिया वातावरणासाठी योग्य ids सिडस्, अल्कलिस आणि विविध प्रकारचे रासायनिक सॉल्व्हेंट्स प्रतिरोधक.
- उच्च कडकपणा आणि पोशाख प्रतिकार: कण इरोशन आणि मेकॅनिकल वेअरचा प्रतिकार करा, सेवा जीवन वाढवा.
- उच्च थर्मल चालकता आणि थर्मल विस्ताराचे कमी गुणांक: उष्णता आणि मितीय स्थिरतेचे जलद वहन, विरूपण कमी करणे किंवा थर्मल ताणामुळे क्रॅक करणे.
उत्पादन पॅरामीटर ●
सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्रे पॅरामीटर:
(भौतिक मालमत्ता) | (युनिट) | (एसएसआयसी) | |
(Sic सामग्री) | (डब्ल्यूटी)% | > 99 | |
(सरासरी धान्य आकार) | मायक्रॉन | 4-10 | |
(घनता) | केजी/डीएम 3 | > 3.14 | |
(स्पष्ट पोर्सिटी) | व्हीओ 1% | <0.5 | |
(विकर्स कडकपणा) | एचव्ही 0.5 | जीपीए | 28 |
*() लवचिक सामर्थ्य* (तीन गुण) | 20ºC | एमपीए | 450 |
(संकुचित शक्ती) | 20ºC | एमपीए | 3900 |
(लवचिक मॉड्यूलस) | 20ºC | जीपीए | 420 |
(फ्रॅक्चर टफनेस) | एमपीए/एम '% | 3.5 | |
(थर्मल चालकता) | 20 ° ºC | डब्ल्यू/(एम*के) | 160 |
(प्रतिरोधकता) | 20 ° ºC | OHMM.CM | 106-108 |
(थर्मल विस्तार गुणांक) | ए (आरटी ** ... 80ºC) | के -1*10-6 | 3.3 |
(जास्तीत जास्त ऑपरेटिंग तापमान) | OºC | 1700 |
सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्यूब पॅरामीटर:
आयटम | अनुक्रमणिका |
α- sic | 99% मि |
उघड पोसिटी | 16% कमाल |
मोठ्या प्रमाणात घनता | 2.7 जी/सेमी 3 मि |
उच्च तापमानात वाकणे सामर्थ्य | 100 एमपीए मि |
थर्मल विस्ताराचे गुणांक | के -1 4.7x10 -6 |
थर्मल चालकता गुणांक (1400 डिग्री सेल्सियस) | 24 डब्ल्यू/एमके |
कमाल. कार्यरत तापमान | 1650 डिग्री सेल्सियस |
मुख्य अनुप्रयोग:
1. सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक प्लेट
- वेफर कटिंग आणि पॉलिशिंग: कटिंग आणि पॉलिशिंग दरम्यान उच्च सुस्पष्टता आणि स्थिरता सुनिश्चित करण्यासाठी बेअरिंग प्लॅटफॉर्म म्हणून काम करते.
- लिथोग्राफी प्रक्रिया: एक्सपोजर दरम्यान उच्च अचूक स्थिती सुनिश्चित करण्यासाठी वेफर लिथोग्राफी मशीनमध्ये निश्चित केले गेले आहे.
- केमिकल मेकॅनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी): एकसमान दबाव आणि उष्णता वितरण प्रदान करण्यासाठी पॅड पॉलिशिंगसाठी समर्थन व्यासपीठ म्हणून कार्य करते.
2. सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्यूब
- उच्च तापमान फर्नेस ट्यूब: उच्च तापमान प्रक्रियेच्या उपचारासाठी वेफर्स वाहून नेण्यासाठी डिफ्यूजन फर्नेस आणि ऑक्सिडेशन फर्नेस सारख्या उच्च तापमान उपकरणांसाठी वापरले जाते.
- सीव्हीडी/पीव्हीडी प्रक्रिया: रिएक्शन चेंबरमध्ये बेअरिंग ट्यूब म्हणून, उच्च तापमान आणि संक्षारक वायूंना प्रतिरोधक.
- सेमीकंडक्टर उपकरणे उपकरणे: उष्मा एक्सचेंजर्स, गॅस पाइपलाइन इ. साठी उपकरणांची औष्णिक व्यवस्थापन कार्यक्षमता सुधारण्यासाठी.
एक्सकेएच सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्रे, सक्शन कप आणि सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्यूबसाठी सानुकूल सेवा पूर्ण करते. सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्रे आणि सक्शन कप, एक्सकेएच वेगवेगळ्या आकार, आकार आणि पृष्ठभागाच्या उग्रपणाच्या ग्राहकांच्या आवश्यकतेनुसार सानुकूलित केले जाऊ शकतात आणि विशेष कोटिंग उपचारांना समर्थन देतात, पोशाख प्रतिकार आणि गंज प्रतिकार वाढवतात; सिलिकॉन कार्बाईड सिरेमिक ट्यूबसाठी, एक्सकेएच विविध प्रकारचे अंतर्गत व्यास, बाह्य व्यास, लांबी आणि जटिल रचना (जसे की आकाराचे ट्यूब किंवा सच्छिद्र ट्यूब) सानुकूलित करू शकते आणि पॉलिशिंग, अँटी-ऑक्सिडेशन कोटिंग आणि इतर पृष्ठभागावरील उपचार प्रक्रिया प्रदान करू शकते. एक्सकेएच हे सुनिश्चित करते की सेमीकंडक्टर, एलईडी आणि फोटोव्होल्टिक्स सारख्या उच्च-अंत मॅन्युफॅक्चरिंग फील्डच्या मागणीची आवश्यकता पूर्ण करण्यासाठी ग्राहक सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादनांच्या कामगिरीच्या फायद्यांचा पुरेपूर फायदा घेऊ शकतात.
तपशीलवार आकृती



