सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर बोट

संक्षिप्त वर्णन:

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर बोट ही उच्च-शुद्धतेच्या SiC मटेरियलपासून बनलेली एक अर्धसंवाहक प्रक्रिया वाहक आहे, जी एपिटॅक्सी, ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन आणि अॅनिलिंग सारख्या गंभीर उच्च-तापमान प्रक्रियांदरम्यान वेफर धरून ठेवण्यासाठी आणि वाहतूक करण्यासाठी डिझाइन केलेली आहे.

आम्हाला ईमेल पाठवा

वैशिष्ट्ये

तपशीलवार आकृती

क्वार्ट्ज ग्लासचा आढावा

पॉवर सेमीकंडक्टर आणि रुंद बँडगॅप उपकरणांच्या जलद विकासासह, पारंपारिक क्वार्ट्ज बोटींना उच्च तापमानात विकृती, तीव्र कण दूषितता आणि कमी सेवा आयुष्य यासारख्या मर्यादांचा सामना करावा लागतो. उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, कमी दूषितता आणि विस्तारित आयुष्यमान असलेल्या SiC वेफर बोटी, क्वार्ट्ज बोटींची जागा वाढत्या प्रमाणात घेत आहेत आणि SiC उपकरण निर्मितीमध्ये पसंतीची निवड बनत आहेत.

महत्वाची वैशिष्टे

१. साहित्याचे फायदे

उच्च-शुद्धतेच्या SiC पासून उत्पादितउच्च कडकपणा आणि ताकद.
२७००°C पेक्षा जास्त वितळण्याचा बिंदू, क्वार्ट्जपेक्षा खूपच जास्त, ज्यामुळे अत्यंत वातावरणात दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित होते.

२. औष्णिक गुणधर्म

जलद आणि एकसमान उष्णता हस्तांतरणासाठी उच्च थर्मल चालकता, वेफरचा ताण कमी करते.
थर्मल एक्सपेंशन (CTE) चे गुणांक SiC सब्सट्रेट्सशी जवळून जुळते, ज्यामुळे वेफरचे झुकणे आणि क्रॅकिंग कमी होते.

३. रासायनिक स्थिरता

उच्च तापमान आणि विविध वातावरणात (H₂, N₂, Ar, NH₃, इ.) स्थिर.
उत्कृष्ट ऑक्सिडेशन प्रतिरोधकता, विघटन आणि कण निर्मिती प्रतिबंधित करते.

४. प्रक्रिया कामगिरी

गुळगुळीत आणि दाट पृष्ठभाग कण गळती आणि दूषितता कमी करते.
दीर्घकालीन वापरानंतर मितीय स्थिरता आणि भार क्षमता राखते.

५. खर्च कार्यक्षमता

क्वार्ट्ज बोटींपेक्षा ३-५ पट जास्त सेवा आयुष्य.
देखभालीची वारंवारता कमी होते, डाउनटाइम आणि बदलीचा खर्च कमी होतो.

अर्ज

एसआयसी एपिटॅक्सी: उच्च-तापमानाच्या एपिटॅक्सियल वाढीदरम्यान ४-इंच, ६-इंच आणि ८-इंच SiC सब्सट्रेट्सना आधार देणे.
पॉवर डिव्हाइस फॅब्रिकेशन: SiC MOSFETs, Schottky बॅरियर डायोड्स (SBDs), IGBTs आणि इतर उपकरणांसाठी आदर्श.
थर्मल ट्रीटमेंट: अ‍ॅनिलिंग, नायट्रिडेशन आणि कार्बनायझेशन प्रक्रिया.
ऑक्सिडेशन आणि प्रसार: उच्च-तापमान ऑक्सिडेशन आणि प्रसारासाठी स्थिर वेफर सपोर्ट प्लॅटफॉर्म.

तांत्रिक माहिती

आयटम	तपशील
साहित्य	उच्च-शुद्धता सिलिकॉन कार्बाइड (SiC)
वेफर आकार	४-इंच / ६-इंच / ८-इंच (सानुकूल करण्यायोग्य)
कमाल ऑपरेटिंग तापमान.	≤ १८००°C
थर्मल एक्सपेंशन सीटीई	४.२ × १०⁻⁶ /K (SiC सब्सट्रेटच्या जवळ)
औष्णिक चालकता	१२०-२०० प/चौकोनीटर
पृष्ठभागाचा खडबडीतपणा	रा < ०.२ मायक्रॉन
समांतरता	±०.१ मिमी
सेवा जीवन	क्वार्ट्ज बोटींपेक्षा ≥ 3× लांब

तुलना: क्वार्ट्ज बोट विरुद्ध एसआयसी बोट

परिमाण	क्वार्ट्ज बोट	SiC बोट
तापमान प्रतिकार	≤ १२००°C, उच्च तापमानात विकृत रूप.	≤ १८००°C, थर्मली स्थिर
SiC सोबत CTE सामना	मोठी विसंगती, वेफर स्ट्रेसचा धोका	जुळणी बंद करते, वेफर क्रॅकिंग कमी करते
कण दूषित होणे	जास्त, अशुद्धता निर्माण करते	कमी, गुळगुळीत आणि दाट पृष्ठभाग
सेवा जीवन	लहान, वारंवार बदलणे	लांब, ३-५× जास्त आयुष्यमान
योग्य प्रक्रिया	पारंपारिक Si एपिटॅक्सी	SiC एपिटॅक्सी आणि पॉवर उपकरणांसाठी ऑप्टिमाइझ केलेले

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न – सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर बोट्स

१. SiC वेफर बोट म्हणजे काय?

SiC वेफर बोट ही उच्च-शुद्धता असलेल्या सिलिकॉन कार्बाइडपासून बनलेली एक अर्धसंवाहक प्रक्रिया वाहक आहे. एपिटॅक्सी, ऑक्सिडेशन, डिफ्यूजन आणि अॅनिलिंग सारख्या उच्च-तापमान प्रक्रियांदरम्यान वेफर धरण्यासाठी आणि वाहतूक करण्यासाठी याचा वापर केला जातो. पारंपारिक क्वार्ट्ज बोटींच्या तुलनेत, SiC वेफर बोटी उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, कमी दूषितता आणि दीर्घ सेवा आयुष्य देतात.

२. क्वार्ट्ज बोटींऐवजी SiC वेफर बोटी का निवडायच्या?

जास्त तापमान प्रतिकार: क्वार्ट्ज (≤१२००°C) विरुद्ध १८००°C पर्यंत स्थिर.
चांगले CTE जुळणी: SiC सब्सट्रेट्सच्या जवळ, वेफरचा ताण आणि क्रॅकिंग कमी करते.
कमी कण निर्मिती: गुळगुळीत, दाट पृष्ठभाग दूषितता कमी करते.
जास्त आयुष्य: क्वार्ट्ज बोटींपेक्षा ३-५ पट जास्त, मालकीचा खर्च कमी.

३. SiC वेफर बोटी कोणत्या आकाराच्या वेफरला आधार देऊ शकतात?

आम्ही यासाठी मानक डिझाइन प्रदान करतो४-इंच, ६-इंच आणि ८-इंचग्राहकांच्या गरजा पूर्ण करण्यासाठी पूर्ण कस्टमायझेशनसह वेफर्स उपलब्ध आहेत.

४. SiC वेफर बोट्स सामान्यतः कोणत्या प्रक्रियांमध्ये वापरल्या जातात?

SiC एपिटॅक्सियल वाढ
पॉवर सेमीकंडक्टर डिव्हाइस मॅन्युफॅक्चरिंग (SiC MOSFETs, SBDs, IGBTs)
उच्च-तापमानाचे अ‍ॅनिलिंग, नायट्रिडेशन आणि कार्बनायझेशन
ऑक्सिडेशन आणि प्रसार प्रक्रिया

आमच्याबद्दल

XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास आणि नवीन क्रिस्टल मटेरियलच्या उच्च-तंत्रज्ञान विकास, उत्पादन आणि विक्रीमध्ये विशेषज्ञ आहे. आमची उत्पादने ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, ग्राहक इलेक्ट्रॉनिक्स आणि सैन्यासाठी सेवा देतात. आम्ही नीलमणी ऑप्टिकल घटक, मोबाइल फोन लेन्स कव्हर, सिरॅमिक्स, LT, सिलिकॉन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज आणि सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफर्स ऑफर करतो. कुशल कौशल्य आणि अत्याधुनिक उपकरणांसह, आम्ही मानक नसलेल्या उत्पादन प्रक्रियेत उत्कृष्ट कामगिरी करतो, एक आघाडीचा ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक मटेरियल हाय-टेक एंटरप्राइझ बनण्याचे उद्दिष्ट ठेवतो.