अल्ट्रा-प्रिसिजन SiC एअर-बेअरिंग स्टेज

संक्षिप्त वर्णन:

सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या सततच्या उत्क्रांतीसह, प्रक्रिया आणि तपासणी उपकरणे सतत उच्च कामगिरीची मागणी करतात. गती नियंत्रण आणि नॅनोमीटर-स्तरीय स्थितीमध्ये व्यापक कौशल्याच्या आधारे, आम्ही एक प्लॅनर एच-प्रकारचा ड्युअल-अ‍ॅक्सिस अल्ट्रा-प्रिसिजन एअर-बेअरिंग स्टेज विकसित केला आहे.


वैशिष्ट्ये

तपशीलवार आकृती

1_副本
4_副本

आढावा

सेमीकंडक्टर उद्योगाच्या सततच्या उत्क्रांतीसह, प्रक्रिया आणि तपासणी उपकरणे सतत उच्च कामगिरीची मागणी करतात. गती नियंत्रण आणि नॅनोमीटर-स्तरीय स्थितीमध्ये व्यापक कौशल्याच्या आधारे, आम्ही एक प्लॅनर एच-प्रकारचा ड्युअल-अ‍ॅक्सिस अल्ट्रा-प्रिसिजन एअर-बेअरिंग स्टेज विकसित केला आहे.

मर्यादित-घटक-ऑप्टिमाइझ्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक स्ट्रक्चर आणि भरपाई देणारे एअर-बेअरिंग तंत्रज्ञान वापरून बनवलेले, हे स्टेज उत्कृष्ट अचूकता, कडकपणा आणि गतिमान प्रतिसाद देते. हे यासाठी आदर्श आहे:

  • सेमीकंडक्टर प्रक्रिया आणि तपासणी
    सूक्ष्म/नॅनो फॅब्रिकेशन आणि मेट्रोलॉजी
    नॅनोमीटर-स्केल फ्लाय-कटिंग आणि पॉलिशिंग
    हाय-स्पीड प्रिसिजन स्कॅनिंग

महत्वाची वैशिष्टे

  • SiC एअर-बेअरिंग मार्गदर्शक मार्गअति-उच्च कडकपणा आणि अचूकतेसाठी

  • उच्च गतिमानता: १ मीटर/सेकंद पर्यंत वेग, ४ ग्रॅम पर्यंत प्रवेग, जलद स्थिरीकरण

  • ड्युअल-ड्राइव्ह गॅन्ट्री Y-अक्षउच्च भार क्षमता आणि स्थिरता सुनिश्चित करते

  • एन्कोडर पर्याय: ऑप्टिकल ग्रेटिंग किंवा लेसर इंटरफेरोमीटर

  • स्थिती अचूकता: ±०.१५ मायक्रॉन;पुनरावृत्तीक्षमता: ±७५ एनएम

  • ऑप्टिमाइझ केलेले केबल राउटिंगस्वच्छ डिझाइन आणि दीर्घकालीन विश्वासार्हतेसाठी

  • सानुकूल करण्यायोग्य कॉन्फिगरेशनअनुप्रयोग-विशिष्ट गरजांसाठी

अल्ट्रा-प्रिसिजन डिझाइन आणि डायरेक्ट-ड्राइव्ह, संपर्क नसलेले आर्किटेक्चर

  • SiC सिरेमिक फ्रेम: ~५× अॅल्युमिनियम मिश्रधातूची कडकपणा आणि ~५× कमी थर्मल विस्तार, उच्च-गती स्थिरता आणि थर्मल मजबूती सुनिश्चित करते.

  • भरपाई दिलेली एअर-बेअरिंग: मालकीचे डिझाइन कडकपणा, भार क्षमता आणि हालचाल स्थिरता वाढवते.

  • गतिमान कामगिरी: १ मीटर/सेकंद वेग आणि ४ ग्रॅम प्रवेग समर्थित करते, उच्च-थ्रूपुट प्रक्रियांसाठी आदर्श.

  • अखंड एकत्रीकरण: कंपन आयसोलेशन सिस्टीम, रोटरी स्टेज, टिल्ट मॉड्यूल्स आणि वेफर हँडलिंग प्लॅटफॉर्मशी सुसंगत.

  • केबल व्यवस्थापन: नियंत्रित वाकण्याची त्रिज्या ताण कमी करते आणि दीर्घ सेवा आयुष्य देते.

 

  • कोरलेस लिनियर मोटर: शून्य कॉगिंग फोर्ससह गुळगुळीत हालचाल.

  • मल्टी-मोटर ड्राइव्ह: लोड-प्लेन मोटर प्लेसमेंटमुळे सरळपणा, सपाटपणा आणि कोनीय अचूकता सुधारते.

  • थर्मल आयसोलेशन: मोटर्स स्टेज स्ट्रक्चरपासून वेगळ्या केल्या आहेत; उच्च-कर्तव्य चक्रांसाठी पर्यायी हवा किंवा पाणी थंड करणे.

तपशील

मॉडेल ४००-४०० ५००-५०० ६००-६००
अक्ष X (स्कॅन) / Y (पायरी) X (स्कॅन) / Y (पायरी) X (स्कॅन) / Y (पायरी)
प्रवास (मिमी) ४००/४०० ५००/५०० ६००/६००
अचूकता (μm) ±०.१५ ±०.२ ±०.२
पुनरावृत्तीक्षमता (nm) ±७५ ±१०० ±१००
रिझोल्यूशन (nm) ०.३ ०.३ ०.३
कमाल वेग (मी/से) 1 1 1
प्रवेग (ग्रॅम) 4 4 4
सरळपणा (मायक्रोमीटर) ±०.२ ±०.३ ±०.४
स्थिरता (nm) ±५ ±५ ±५
कमाल भार (किलो) 20 20 20
पिच/रोल/याव (कमान-सेकंद) ±१ ±१ ±१

 

चाचणी अटी:

  • हवा पुरवठा: स्वच्छ, कोरडा; दवबिंदू ≤ 0°F; कण गाळण्याची प्रक्रिया ≤ 0.25 μm; किंवा 99.99% नायट्रोजन.

  • स्टेज सेंटरच्या वर २५ मिमी वर २०±१ °C, ४०-६०% RH वर अचूकता मोजली गेली.

 

अर्ज

  • सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी, तपासणी आणि वेफर हाताळणी

  • सूक्ष्म/नॅनो फॅब्रिकेशन आणि अचूक मेट्रोलॉजी

  • उच्च दर्जाचे ऑप्टिक्स उत्पादन आणि इंटरफेरोमेट्री

  • अवकाश आणि प्रगत वैज्ञानिक संशोधन

वारंवार विचारले जाणारे प्रश्न – सिलिकॉन कार्बाइड एअर-बेअरिंग स्टेज

१. हवा वाहणारा टप्पा म्हणजे काय?

हवाबंद स्टेज स्टेज आणि मार्गदर्शक मार्गादरम्यान दाबयुक्त हवेचा पातळ थर वापरतो जेणेकरूनघर्षणरहित, झीजमुक्त आणि अति-गुळगुळीत हालचाल. पारंपारिक यांत्रिक बेअरिंग्जच्या विपरीत, ते स्टिक-स्लिप दूर करते, नॅनोमीटर-स्तरीय अचूकता प्रदान करते आणि दीर्घकालीन विश्वासार्हतेचे समर्थन करते.


२. स्टेज स्ट्रक्चरसाठी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) का वापरावे?

  • उच्च कडकपणा: अ‍ॅल्युमिनियम मिश्रधातूच्या ~५×, गतिमान गती दरम्यान विकृती कमी करते.

  • कमी थर्मल विस्तार: अॅल्युमिनियमपेक्षा ~५× कमी, तापमानातील फरकांखाली अचूकता राखणे.

  • हलके: स्टीलच्या तुलनेत कमी घनता, ज्यामुळे उच्च-गती आणि उच्च-प्रवेग ऑपरेशन शक्य होते.

  • उत्कृष्ट स्थिरता: अति-परिशुद्धता स्थितीसाठी उत्कृष्ट डॅम्पिंग आणि कडकपणा.


३. स्टेजला स्नेहन किंवा देखभालीची आवश्यकता आहे का?

पारंपारिक स्नेहन आवश्यक नाही कारण तेथे आहेयांत्रिक संपर्क नाही. शिफारस केलेल्या देखभालीमध्ये हे समाविष्ट आहे:

  • पुरवठास्वच्छ, कोरडी संकुचित हवा किंवा नायट्रोजन

  • फिल्टर आणि ड्रायरची नियतकालिक तपासणी

  • केबल्स आणि कूलिंग सिस्टमचे निरीक्षण करणे


४. हवा पुरवठ्याच्या आवश्यकता काय आहेत?

  • दवबिंदू: ≤ ० °फॅरनहाइट (≈ –१८ °से)

  • कण गाळण्याची प्रक्रिया: ≤ ०.२५ μm

  • स्वच्छ, कोरडी हवा किंवा ९९.९९% शुद्ध नायट्रोजन

  • कमीत कमी चढउतारांसह स्थिर दाब

आमच्याबद्दल

XKH विशेष ऑप्टिकल ग्लास आणि नवीन क्रिस्टल मटेरियलच्या उच्च-तंत्रज्ञान विकास, उत्पादन आणि विक्रीमध्ये विशेषज्ञ आहे. आमची उत्पादने ऑप्टिकल इलेक्ट्रॉनिक्स, ग्राहक इलेक्ट्रॉनिक्स आणि सैन्यासाठी सेवा देतात. आम्ही नीलमणी ऑप्टिकल घटक, मोबाइल फोन लेन्स कव्हर, सिरॅमिक्स, LT, सिलिकॉन कार्बाइड SIC, क्वार्ट्ज आणि सेमीकंडक्टर क्रिस्टल वेफर्स ऑफर करतो. कुशल कौशल्य आणि अत्याधुनिक उपकरणांसह, आम्ही मानक नसलेल्या उत्पादन प्रक्रियेत उत्कृष्ट कामगिरी करतो, एक आघाडीचा ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक मटेरियल हाय-टेक एंटरप्राइझ बनण्याचे उद्दिष्ट ठेवतो.

४५६७८९

  • मागील:
  • पुढे:

  • तुमचा संदेश येथे लिहा आणि आम्हाला पाठवा.