Si/SiC आणि HBM (Al) साठी १२ इंच पूर्णपणे स्वयंचलित प्रिसिजन डायसिंग सॉ इक्विपमेंट वेफर डेडिकेटेड कटिंग सिस्टम

संक्षिप्त वर्णन:

पूर्णपणे स्वयंचलित अचूकता डायसिंग उपकरणे ही एक उच्च-परिशुद्धता कटिंग प्रणाली आहे जी विशेषतः सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक घटक उद्योगासाठी विकसित केली आहे. त्यात मायक्रॉन-स्तरीय प्रक्रिया अचूकता प्राप्त करण्यासाठी प्रगत गती नियंत्रण तंत्रज्ञान आणि बुद्धिमान दृश्य स्थिती समाविष्ट आहे. हे उपकरण विविध कठीण आणि ठिसूळ पदार्थांच्या अचूकता डायसिंगसाठी योग्य आहे, ज्यात समाविष्ट आहे:
१.अर्धवाहक साहित्य: सिलिकॉन (Si), सिलिकॉन कार्बाइड (SiC), गॅलियम आर्सेनाइड (GaAs), लिथियम टॅन्टालेट/लिथियम निओबेट (LT/LN) सब्सट्रेट्स इ.
२.पॅकेजिंग साहित्य: सिरेमिक सब्सट्रेट्स, क्यूएफएन/डीएफएन फ्रेम्स, बीजीए पॅकेजिंग सब्सट्रेट्स.
३.कार्यात्मक उपकरणे: पृष्ठभाग ध्वनिक लहरी (SAW) फिल्टर, थर्मोइलेक्ट्रिक कूलिंग मॉड्यूल, WLCSP वेफर्स.

XKH मटेरियल कंपॅटिबिलिटी टेस्टिंग आणि प्रोसेस कस्टमायझेशन सेवा प्रदान करते जेणेकरून उपकरणे ग्राहकांच्या उत्पादन गरजांशी पूर्णपणे जुळतात याची खात्री करता येईल, संशोधन आणि विकास नमुने आणि बॅच प्रोसेसिंग दोन्हीसाठी इष्टतम उपाय प्रदान केले जातील.


  • :
  • वैशिष्ट्ये

    तांत्रिक बाबी

    पॅरामीटर

    तपशील

    कामाचा आकार

    Φ८", Φ१२"

    स्पिंडल

    दुहेरी-अक्ष १.२/१.८/२.४/३.०, कमाल ६०००० आरपीएम

    ब्लेड आकार

    २" ~ ३"

    Y1 / Y2 अक्ष

     

     

    एक-चरण वाढ: ०.०००१ मिमी

    स्थिती अचूकता: < ०.००२ मिमी

    कटिंग रेंज: ३१० मिमी

    एक्स अक्ष

    फीड गती श्रेणी: ०.१–६०० मिमी/से

    Z1 / Z2 अक्ष

     

    एक-चरण वाढ: ०.०००१ मिमी

    स्थिती अचूकता: ≤ ०.००१ मिमी

    θ अक्ष

    स्थिती अचूकता: ±१५"

    स्वच्छता केंद्र

     

    रोटेशन गती: १००-३००० आरपीएम

    साफसफाईची पद्धत: स्वयंचलितपणे स्वच्छ धुवा आणि स्पिन-ड्राय करा

    ऑपरेटिंग व्होल्टेज

    ३-फेज ३८० व्ही ५० हर्ट्झ

    परिमाणे (पाऊंड × ड × ह)

    १५५०×१२५५×१८८० मिमी

    वजन

    २१०० किलो

    कार्य तत्व

    खालील तंत्रज्ञानाद्वारे उपकरणे उच्च-परिशुद्धता कटिंग प्राप्त करतात:
    १.उच्च-कडकपणा स्पिंडल सिस्टम: ६०,००० RPM पर्यंत रोटेशनल स्पीड, वेगवेगळ्या मटेरियल गुणधर्मांशी जुळवून घेण्यासाठी डायमंड ब्लेड किंवा लेसर कटिंग हेड्सने सुसज्ज.

    २. मल्टी-अ‍ॅक्सिस मोशन कंट्रोल: X/Y/Z-अक्ष पोझिशनिंग अचूकता ±1μm, उच्च-परिशुद्धता ग्रेटिंग स्केलसह जोडलेले जेणेकरून विचलन-मुक्त कटिंग मार्ग सुनिश्चित होतील.

    ३.इंटेलिजेंट व्हिज्युअल अलाइनमेंट: उच्च-रिझोल्यूशन सीसीडी (५ मेगापिक्सेल) आपोआप कटिंग स्ट्रीट्स ओळखते आणि मटेरियल वॉर्पिंग किंवा चुकीच्या अलाइनमेंटची भरपाई करते.

    ४. थंड करणे आणि धूळ काढणे: थर्मल इम्पॅक्ट आणि कण दूषितता कमी करण्यासाठी एकात्मिक शुद्ध पाणी थंड करण्याची प्रणाली आणि व्हॅक्यूम सक्शन धूळ काढणे.

    कटिंग मोड्स

    १. ब्लेड डायसिंग: ५०-१००μm रुंदी असलेल्या, Si आणि GaAs सारख्या पारंपारिक अर्धसंवाहक पदार्थांसाठी योग्य.

    २.स्टिल्थ लेसर डायसिंग: अति-पातळ वेफर्स (<१००μm) किंवा नाजूक पदार्थांसाठी (उदा., LT/LN) वापरले जाते, ज्यामुळे ताणमुक्त पृथक्करण शक्य होते.

    ठराविक अनुप्रयोग

    सुसंगत साहित्य अर्ज फील्ड प्रक्रिया आवश्यकता
    सिलिकॉन (Si) आयसी, एमईएमएस सेन्सर्स उच्च-परिशुद्धता कटिंग, चिपिंग <10μm
    सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) पॉवर उपकरणे (MOSFET/डायोड्स) कमी-नुकसान कटिंग, थर्मल व्यवस्थापन ऑप्टिमायझेशन
    गॅलियम आर्सेनाइड (GaAs) आरएफ उपकरणे, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक चिप्स सूक्ष्म-क्रॅक प्रतिबंध, स्वच्छता नियंत्रण
    एलटी/एलएन सबस्ट्रेट्स SAW फिल्टर्स, ऑप्टिकल मॉड्युलेटर ताणमुक्त कटिंग, पायझोइलेक्ट्रिक गुणधर्मांचे जतन करणे
    सिरेमिक सब्सट्रेट्स पॉवर मॉड्यूल, एलईडी पॅकेजिंग उच्च-कडकपणा सामग्री प्रक्रिया, कडा सपाटपणा
    क्यूएफएन/डीएफएन फ्रेम्स प्रगत पॅकेजिंग मल्टी-चिप एकाच वेळी कटिंग, कार्यक्षमता ऑप्टिमायझेशन
    WLCSP वेफर्स वेफर-लेव्हल पॅकेजिंग अति-पातळ वेफर्सचे नुकसान-मुक्त डाइसिंग (५०μm)

     

    फायदे

    १. टक्कर प्रतिबंधक अलार्म, जलद हस्तांतरण स्थिती आणि मजबूत त्रुटी-सुधारणा क्षमता असलेले हाय-स्पीड कॅसेट फ्रेम स्कॅनिंग.

    २. ऑप्टिमाइझ केलेले ड्युअल-स्पिंडल कटिंग मोड, सिंगल-स्पिंडल सिस्टीमच्या तुलनेत कार्यक्षमता अंदाजे ८०% ने सुधारते.

    ३. अचूक-आयात केलेले बॉल स्क्रू, रेषीय मार्गदर्शक आणि Y-अक्ष ग्रेटिंग स्केल क्लोज्ड-लूप नियंत्रण, उच्च-परिशुद्धता मशीनिंगची दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित करते.

    ४. पूर्णपणे स्वयंचलित लोडिंग/अनलोडिंग, ट्रान्सफर पोझिशनिंग, अलाइनमेंट कटिंग आणि कर्फ तपासणी, ज्यामुळे ऑपरेटर (OP) वरील कामाचा ताण लक्षणीयरीत्या कमी होतो.

    ५. गॅन्ट्री-शैलीतील स्पिंडल माउंटिंग स्ट्रक्चर, किमान २४ मिमी ड्युअल-ब्लेड स्पेसिंगसह, ड्युअल-स्पिंडल कटिंग प्रक्रियेसाठी व्यापक अनुकूलता सक्षम करते.

    वैशिष्ट्ये

    १. उच्च-परिशुद्धता संपर्क नसलेली उंची मापन.

    २. एकाच ट्रेवर मल्टी-वेफर ड्युअल-ब्लेड कटिंग.

    ३.स्वयंचलित कॅलिब्रेशन, कर्फ तपासणी आणि ब्लेड ब्रेकेज डिटेक्शन सिस्टम.

    ४. निवडण्यायोग्य स्वयंचलित संरेखन अल्गोरिदमसह विविध प्रक्रियांना समर्थन देते.

    ५. दोष स्वयं-सुधारणा कार्यक्षमता आणि रिअल-टाइम मल्टी-पोझिशन मॉनिटरिंग.

    ६. सुरुवातीच्या डायसिंगनंतर प्रथम-कट तपासणी क्षमता.

    ७. सानुकूल करण्यायोग्य फॅक्टरी ऑटोमेशन मॉड्यूल आणि इतर पर्यायी कार्ये.

    सुसंगत साहित्य

    पूर्णपणे स्वयंचलित अचूक डायसिंग उपकरणे ४

    उपकरणे सेवा

    आम्ही उपकरणांच्या निवडीपासून ते दीर्घकालीन देखभालीपर्यंत सर्वसमावेशक सहाय्य प्रदान करतो:

    (१) सानुकूलित विकास
    · मटेरियल गुणधर्मांवर आधारित ब्लेड/लेसर कटिंग सोल्यूशन्सची शिफारस करा (उदा., SiC कडकपणा, GaAs ठिसूळपणा).

    · कटिंगची गुणवत्ता (चिपिंग, कर्फ रुंदी, पृष्ठभागाची खडबडीतपणा इत्यादींसह) सत्यापित करण्यासाठी मोफत नमुना चाचणी ऑफर करा.

    (२) तांत्रिक प्रशिक्षण
    · मूलभूत प्रशिक्षण: उपकरणांचे ऑपरेशन, पॅरामीटर समायोजन, नियमित देखभाल.
    · प्रगत अभ्यासक्रम: जटिल पदार्थांसाठी प्रक्रिया ऑप्टिमायझेशन (उदा., एलटी सब्सट्रेट्सचे ताणमुक्त कटिंग).

    (३) विक्रीनंतरचा आधार
    · २४/७ प्रतिसाद: दूरस्थ निदान किंवा साइटवर मदत.
    · सुटे भागांचा पुरवठा: जलद बदलण्यासाठी साठवलेले स्पिंडल, ब्लेड आणि ऑप्टिकल घटक.
    · प्रतिबंधात्मक देखभाल: अचूकता राखण्यासाठी आणि सेवा आयुष्य वाढवण्यासाठी नियमित कॅलिब्रेशन.

    90bf3f9d-353c-408a-a804-56eb276dea24_副本

    आमचे फायदे

    ✔ उद्योग अनुभव: ३००+ जागतिक सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादकांना सेवा देणे.
    ✔ अत्याधुनिक तंत्रज्ञान: अचूक रेषीय मार्गदर्शक आणि सर्वो प्रणाली उद्योगातील आघाडीची स्थिरता सुनिश्चित करतात.
    ✔ जागतिक सेवा नेटवर्क: स्थानिक समर्थनासाठी आशिया, युरोप आणि उत्तर अमेरिकेत कव्हरेज.
    चाचणी किंवा चौकशीसाठी, आमच्याशी संपर्क साधा!

    440fd943-e805-4ae7-93bf-0e32b7bc6dfd
    395d7b7e-d6a8-4f5e-8301-8a2669815b5c

  • मागील:
  • पुढे:

  • तुमचा संदेश येथे लिहा आणि आम्हाला पाठवा.