Si/SiC आणि HBM (Al) साठी १२ इंच पूर्णपणे स्वयंचलित प्रिसिजन डायसिंग सॉ इक्विपमेंट वेफर डेडिकेटेड कटिंग सिस्टम
तांत्रिक बाबी
पॅरामीटर | तपशील |
कामाचा आकार | Φ८", Φ१२" |
स्पिंडल | दुहेरी-अक्ष १.२/१.८/२.४/३.०, कमाल ६०००० आरपीएम |
ब्लेड आकार | २" ~ ३" |
Y1 / Y2 अक्ष
| एक-चरण वाढ: ०.०००१ मिमी |
स्थिती अचूकता: < ०.००२ मिमी | |
कटिंग रेंज: ३१० मिमी | |
एक्स अक्ष | फीड गती श्रेणी: ०.१–६०० मिमी/से |
Z1 / Z2 अक्ष
| एक-चरण वाढ: ०.०००१ मिमी |
स्थिती अचूकता: ≤ ०.००१ मिमी | |
θ अक्ष | स्थिती अचूकता: ±१५" |
स्वच्छता केंद्र
| रोटेशन गती: १००-३००० आरपीएम |
साफसफाईची पद्धत: स्वयंचलितपणे स्वच्छ धुवा आणि स्पिन-ड्राय करा | |
ऑपरेटिंग व्होल्टेज | ३-फेज ३८० व्ही ५० हर्ट्झ |
परिमाणे (पाऊंड × ड × ह) | १५५०×१२५५×१८८० मिमी |
वजन | २१०० किलो |
कार्य तत्व
खालील तंत्रज्ञानाद्वारे उपकरणे उच्च-परिशुद्धता कटिंग प्राप्त करतात:
१.उच्च-कडकपणा स्पिंडल सिस्टम: ६०,००० RPM पर्यंत रोटेशनल स्पीड, वेगवेगळ्या मटेरियल गुणधर्मांशी जुळवून घेण्यासाठी डायमंड ब्लेड किंवा लेसर कटिंग हेड्सने सुसज्ज.
२. मल्टी-अॅक्सिस मोशन कंट्रोल: X/Y/Z-अक्ष पोझिशनिंग अचूकता ±1μm, उच्च-परिशुद्धता ग्रेटिंग स्केलसह जोडलेले जेणेकरून विचलन-मुक्त कटिंग मार्ग सुनिश्चित होतील.
३.इंटेलिजेंट व्हिज्युअल अलाइनमेंट: उच्च-रिझोल्यूशन सीसीडी (५ मेगापिक्सेल) आपोआप कटिंग स्ट्रीट्स ओळखते आणि मटेरियल वॉर्पिंग किंवा चुकीच्या अलाइनमेंटची भरपाई करते.
४. थंड करणे आणि धूळ काढणे: थर्मल इम्पॅक्ट आणि कण दूषितता कमी करण्यासाठी एकात्मिक शुद्ध पाणी थंड करण्याची प्रणाली आणि व्हॅक्यूम सक्शन धूळ काढणे.
कटिंग मोड्स
१. ब्लेड डायसिंग: ५०-१००μm रुंदी असलेल्या, Si आणि GaAs सारख्या पारंपारिक अर्धसंवाहक पदार्थांसाठी योग्य.
२.स्टिल्थ लेसर डायसिंग: अति-पातळ वेफर्स (<१००μm) किंवा नाजूक पदार्थांसाठी (उदा., LT/LN) वापरले जाते, ज्यामुळे ताणमुक्त पृथक्करण शक्य होते.
ठराविक अनुप्रयोग
सुसंगत साहित्य | अर्ज फील्ड | प्रक्रिया आवश्यकता |
सिलिकॉन (Si) | आयसी, एमईएमएस सेन्सर्स | उच्च-परिशुद्धता कटिंग, चिपिंग <10μm |
सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) | पॉवर उपकरणे (MOSFET/डायोड्स) | कमी-नुकसान कटिंग, थर्मल व्यवस्थापन ऑप्टिमायझेशन |
गॅलियम आर्सेनाइड (GaAs) | आरएफ उपकरणे, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक चिप्स | सूक्ष्म-क्रॅक प्रतिबंध, स्वच्छता नियंत्रण |
एलटी/एलएन सबस्ट्रेट्स | SAW फिल्टर्स, ऑप्टिकल मॉड्युलेटर | ताणमुक्त कटिंग, पायझोइलेक्ट्रिक गुणधर्मांचे जतन करणे |
सिरेमिक सब्सट्रेट्स | पॉवर मॉड्यूल, एलईडी पॅकेजिंग | उच्च-कडकपणा सामग्री प्रक्रिया, कडा सपाटपणा |
क्यूएफएन/डीएफएन फ्रेम्स | प्रगत पॅकेजिंग | मल्टी-चिप एकाच वेळी कटिंग, कार्यक्षमता ऑप्टिमायझेशन |
WLCSP वेफर्स | वेफर-लेव्हल पॅकेजिंग | अति-पातळ वेफर्सचे नुकसान-मुक्त डाइसिंग (५०μm) |
फायदे
१. टक्कर प्रतिबंधक अलार्म, जलद हस्तांतरण स्थिती आणि मजबूत त्रुटी-सुधारणा क्षमता असलेले हाय-स्पीड कॅसेट फ्रेम स्कॅनिंग.
२. ऑप्टिमाइझ केलेले ड्युअल-स्पिंडल कटिंग मोड, सिंगल-स्पिंडल सिस्टीमच्या तुलनेत कार्यक्षमता अंदाजे ८०% ने सुधारते.
३. अचूक-आयात केलेले बॉल स्क्रू, रेषीय मार्गदर्शक आणि Y-अक्ष ग्रेटिंग स्केल क्लोज्ड-लूप नियंत्रण, उच्च-परिशुद्धता मशीनिंगची दीर्घकालीन स्थिरता सुनिश्चित करते.
४. पूर्णपणे स्वयंचलित लोडिंग/अनलोडिंग, ट्रान्सफर पोझिशनिंग, अलाइनमेंट कटिंग आणि कर्फ तपासणी, ज्यामुळे ऑपरेटर (OP) वरील कामाचा ताण लक्षणीयरीत्या कमी होतो.
५. गॅन्ट्री-शैलीतील स्पिंडल माउंटिंग स्ट्रक्चर, किमान २४ मिमी ड्युअल-ब्लेड स्पेसिंगसह, ड्युअल-स्पिंडल कटिंग प्रक्रियेसाठी व्यापक अनुकूलता सक्षम करते.
वैशिष्ट्ये
१. उच्च-परिशुद्धता संपर्क नसलेली उंची मापन.
२. एकाच ट्रेवर मल्टी-वेफर ड्युअल-ब्लेड कटिंग.
३.स्वयंचलित कॅलिब्रेशन, कर्फ तपासणी आणि ब्लेड ब्रेकेज डिटेक्शन सिस्टम.
४. निवडण्यायोग्य स्वयंचलित संरेखन अल्गोरिदमसह विविध प्रक्रियांना समर्थन देते.
५. दोष स्वयं-सुधारणा कार्यक्षमता आणि रिअल-टाइम मल्टी-पोझिशन मॉनिटरिंग.
६. सुरुवातीच्या डायसिंगनंतर प्रथम-कट तपासणी क्षमता.
७. सानुकूल करण्यायोग्य फॅक्टरी ऑटोमेशन मॉड्यूल आणि इतर पर्यायी कार्ये.
उपकरणे सेवा
आम्ही उपकरणांच्या निवडीपासून ते दीर्घकालीन देखभालीपर्यंत सर्वसमावेशक सहाय्य प्रदान करतो:
(१) सानुकूलित विकास
· मटेरियल गुणधर्मांवर आधारित ब्लेड/लेसर कटिंग सोल्यूशन्सची शिफारस करा (उदा., SiC कडकपणा, GaAs ठिसूळपणा).
· कटिंगची गुणवत्ता (चिपिंग, कर्फ रुंदी, पृष्ठभागाची खडबडीतपणा इत्यादींसह) सत्यापित करण्यासाठी मोफत नमुना चाचणी ऑफर करा.
(२) तांत्रिक प्रशिक्षण
· मूलभूत प्रशिक्षण: उपकरणांचे ऑपरेशन, पॅरामीटर समायोजन, नियमित देखभाल.
· प्रगत अभ्यासक्रम: जटिल पदार्थांसाठी प्रक्रिया ऑप्टिमायझेशन (उदा., एलटी सब्सट्रेट्सचे ताणमुक्त कटिंग).
(३) विक्रीनंतरचा आधार
· २४/७ प्रतिसाद: दूरस्थ निदान किंवा साइटवर मदत.
· सुटे भागांचा पुरवठा: जलद बदलण्यासाठी साठवलेले स्पिंडल, ब्लेड आणि ऑप्टिकल घटक.
· प्रतिबंधात्मक देखभाल: अचूकता राखण्यासाठी आणि सेवा आयुष्य वाढवण्यासाठी नियमित कॅलिब्रेशन.

आमचे फायदे
✔ उद्योग अनुभव: ३००+ जागतिक सेमीकंडक्टर आणि इलेक्ट्रॉनिक्स उत्पादकांना सेवा देणे.
✔ अत्याधुनिक तंत्रज्ञान: अचूक रेषीय मार्गदर्शक आणि सर्वो प्रणाली उद्योगातील आघाडीची स्थिरता सुनिश्चित करतात.
✔ जागतिक सेवा नेटवर्क: स्थानिक समर्थनासाठी आशिया, युरोप आणि उत्तर अमेरिकेत कव्हरेज.
चाचणी किंवा चौकशीसाठी, आमच्याशी संपर्क साधा!

