150mm 200mm 6inch 8inch GaN on Silicon Epi-layer Wafer Gallium nitride epitaxial wafer
उत्पादन पद्धत
उत्पादन प्रक्रियेमध्ये मेटल-ऑर्गेनिक केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन (MOCVD) किंवा मॉलिक्युलर बीम एपिटॅक्सी (MBE) यासारख्या प्रगत तंत्रांचा वापर करून नीलम सब्सट्रेटवर GaN थर वाढवणे समाविष्ट असते.उच्च क्रिस्टल गुणवत्ता आणि एकसमान फिल्म सुनिश्चित करण्यासाठी डिपॉझिशन प्रक्रिया नियंत्रित परिस्थितीत केली जाते.
6 इंच गॅएन-ऑन-सेफायर ॲप्लिकेशन्स: 6-इंच सॅफायर सब्सट्रेट चिप्स मायक्रोवेव्ह कम्युनिकेशन्स, रडार सिस्टम, वायरलेस तंत्रज्ञान आणि ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्समध्ये मोठ्या प्रमाणावर वापरल्या जातात.
काही सामान्य अनुप्रयोगांचा समावेश आहे
1. आरएफ पॉवर ॲम्प्लीफायर
2. एलईडी प्रकाश उद्योग
3. वायरलेस नेटवर्क संप्रेषण उपकरणे
4. उच्च तापमान वातावरणात इलेक्ट्रॉनिक उपकरणे
5. ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणे
उत्पादन वैशिष्ट्ये
- आकार: थर व्यास 6 इंच (सुमारे 150 मिमी) आहे.
- पृष्ठभागाची गुणवत्ता: उत्कृष्ट मिरर गुणवत्ता प्रदान करण्यासाठी पृष्ठभाग बारीक पॉलिश केले गेले आहे.
- जाडी: GaN लेयरची जाडी विशिष्ट आवश्यकतांनुसार सानुकूलित केली जाऊ शकते.
- पॅकेजिंग: वाहतूक दरम्यान नुकसान टाळण्यासाठी सब्सट्रेट अँटी-स्टॅटिक सामग्रीने काळजीपूर्वक पॅक केलेले आहे.
- पोझिशनिंग एज: सब्सट्रेटमध्ये विशिष्ट पोझिशनिंग एज असतात जे डिव्हाइस तयार करताना संरेखन आणि ऑपरेशन सुलभ करतात.
- इतर पॅरामीटर्स: विशिष्ट पॅरामीटर्स जसे की पातळपणा, प्रतिरोधकता आणि डोपिंग एकाग्रता ग्राहकांच्या गरजेनुसार समायोजित केली जाऊ शकतात.
त्यांच्या उत्कृष्ट भौतिक गुणधर्मांसह आणि विविध अनुप्रयोगांसह, 6-इंच नीलम सब्सट्रेट वेफर्स विविध उद्योगांमध्ये उच्च-कार्यक्षमता सेमीकंडक्टर उपकरणांच्या विकासासाठी एक विश्वासार्ह पर्याय आहेत.
| थर | 6” 1mm <111> p-प्रकार Si | 6” 1mm <111> p-प्रकार Si |
| Epi ThickAvg | ~5um | ~7um |
| Epi ThickUnif | <2% | <2% |
| धनुष्य | +/-45um | +/-45um |
| क्रॅकिंग | <5 मिमी | <5 मिमी |
| उभ्या BV | >1000V | >1400V |
| HEMT Al% | 25-35% | 25-35% |
| एचईएमटी जाडी सरासरी | 20-30nm | 20-30nm |
| Insitu SiN कॅप | 5-60nm | 5-60nm |
| 2DEG conc. | ~ १०13cm-2 | ~ १०13cm-2 |
| गतिशीलता | ~ 2000 सेमी2/वि (<2%) | ~ 2000 सेमी2/वि (<2%) |
| रु | <330ohm/sq (<2%) | <330ohm/sq (<2%) |
तपशीलवार आकृती
